【技术实现步骤摘要】
本技术设计一种太阳能电池生产上PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)工序所用的工装夹具，特别是国产PECVD设备为配备冷却设施的冷却桌。技术背景太阳能晶片在PECVD工序为晶体硅太阳能生产线中等离子体增强化学气相沉积工序，是以石墨舟为载体将去磷硅玻璃后的硅片放入石英炉管中，在400°C 450°C下进行沉积一层氮化硅的过程。目前，生产线一般使用的国产设备较多，由于国产设备未配备冷却设施，一般情况下，结束PECVD工艺后需工人戴高温手套将石墨舟抬至冷却桌上待石墨舟自然冷却后才能卸片(硅片)。·目前，冷却桌，包括桌腿，桌面，和设置在桌面下方的轴流风机，桌面中心是由带孔面板构成的镂空材料与桌面本体焊接，轴流风机上方设有出风口，出风口的风通过带孔面板的孔隙吹到放置在桌面上的石墨舟，已达到冷却石墨舟的目的。但是，这种结构的冷却桌，由于石墨舟下方两端设有四个舟脚，舟脚具有一定的高度，当将石墨舟放置在桌面上后，舟脚会与带孔面板构成的桌面直接接触，从而加大了石墨舟与轴流风机之间的间距，使得轴流风机吹出的冷却空气不能及时有效的吹到石墨舟上，造成冷却时间长(大约15min)、...
【技术保护点】
一种等离子体增强化学气相沉积法工序用冷却桌，包括桌脚（1），桌面，和设置在桌面下方的轴流风机（5），所述的桌面中部为由带孔面板（3）构成的镂空桌面，其特征在于：所述的带孔面板（3）的下方设有两根支杆（4），所述每根支杆（4）的两端均与桌面本体（2）连接，所述的两根支杆（4）沿桌面长度方向的两端均突出于带孔面板（3）的两端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：余涛，吴艳芬，詹国平，陈筑，刘晓巍，刘伟，
申请(专利权)人：宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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