等离子体增强化学气相沉积法工序用冷却桌制造技术

本实用新型专利技术公开一种等离子体增强化学气相沉积法工序用冷却桌，包括桌脚（1），桌面，和设置在桌面下方的轴流风机（5），所述的桌面中部为由带孔面板（3）构成的镂空桌面，其特征在于：所述的带孔面板（3）的下方设有两根支杆（4），所述每根支杆（4）的两端均与桌面本体（2）连接，所述的两根支杆（4）沿桌面长度方向的两端均突出于带孔面板（3）的两端。本实用新型专利技术具有冷却时间短，提高产量，带孔面板与桌面本体连接牢固，且不会导致石墨舟舟脚断裂的优点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术设计一种太阳能电池生产上PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)工序所用的工装夹具，特别是国产PECVD设备为配备冷却设施的冷却桌。技术背景太阳能晶片在PECVD工序为晶体硅太阳能生产线中等离子体增强化学气相沉积工序，是以石墨舟为载体将去磷硅玻璃后的硅片放入石英炉管中，在400°C 450°C下进行沉积一层氮化硅的过程。目前，生产线一般使用的国产设备较多，由于国产设备未配备冷却设施，一般情况下，结束PECVD工艺后需工人戴高温手套将石墨舟抬至冷却桌上待石墨舟自然冷却后才能卸片(硅片)。·目前，冷却桌，包括桌腿，桌面，和设置在桌面下方的轴流风机，桌面中心是由带孔面板构成的镂空材料与桌面本体焊接，轴流风机上方设有出风口，出风口的风通过带孔面板的孔隙吹到放置在桌面上的石墨舟，已达到冷却石墨舟的目的。但是，这种结构的冷却桌，由于石墨舟下方两端设有四个舟脚，舟脚具有一定的高度，当将石墨舟放置在桌面上后，舟脚会与带孔面板构成的桌面直接接触，从而加大了石墨舟与轴流风机之间的间距，使得轴流风机吹出的冷却空气不能及时有效的吹到石墨舟上，造成冷却时间长(大约15min)、因此不能及时回收硅片、影响产量；此外，又由于装满硅片的石墨舟重量重(重量大约15KG)，在长达15min的冷却时间内会导致舟脚易断裂，造成石墨舟的报废，同时，带孔面板长时间承载重达15kg的石墨舟，很可能造成不堪重负而从冷却桌的桌面本体上脱离
技术实现思路
本技术针对现有技术的上述不足，提供一种冷却时间短，提高产量，带孔面板与桌面本体连接牢固，且不会导致石墨舟舟脚断裂的等离子体增强化学气相沉积法工序用冷却桌。为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为一种等离子体增强化学气相沉积法工序用冷却桌，包括桌脚，桌面，和设置在桌面下方的轴流风机，所述的桌面中部为由带孔面板构成的镂空桌面，其特征在于所述的带孔面板的下方设有两根支杆，所述每根支杆的两端均与桌面本体连接，所述的两根支杆沿桌面长度方向的两端均突出于带孔面板的两端。采用上述结构，由于连接了两根支杆，两根支杆起到一定的承重作用，从而增加了带孔面板的承重能力，长时间放置重达15kg的石墨舟也不易导致带孔面板与桌面本体之间脱离。此外，由于两根支杆沿桌面长度方向的两端均突出于带孔面板的两端，即带孔面板的两端与桌面本体之间设有一定的镂空距离，当将石墨舟放置在带孔面板上时，四个舟脚就可以穿过镂空距离悬空，而不直接与带孔面板接触，从而舟脚不再承受石墨舟的重量，达到有效保护舟脚不易断裂的效果。而且，舟脚悬空后，减小了石墨舟与轴流风机之间的间距，使得风机吹出的冷却空气快速有效的吹到石墨舟上，达到及时冷却的目的，短时间内即可回收冷却的硅片，提高产量。作为优选，所述的带孔面板与桌面本体为一体设置，采用上述结构，进一步增加了带孔面板的承重能力，不易导致与桌面本体的脱离。作为优选，所述的轴流风机为两个，所述的两个轴流风机沿桌面的长度方向等距离分布，采用上述结构，可以增大冷却风的强度，同时保证均匀给予石墨舟降温。作为优选，所述的轴流风机的上方设置有出风口，所述的出风口上设置有扇片，采用上述结构，便于风机鼓吹出的冷风能均匀的分布在石墨舟上，达到快速冷却石墨舟的目的。作为优选，所述的两根支杆为空心管，采用空心管可以减轻整体冷却桌的重量，便于工人搬运。进一步的，为了工人便于取片操作，所述冷却桌的长X宽X高的尺寸为 140mmX60mmX80mm,冷却桌用轻质、耐高温易焊接材料制作,特别是O. 5mm厚的306不锈钢材质。所述两根支杆的间距(即两根支杆沿桌面宽度方向的相邻两边的边缘距离)根据国产石墨舟舟脚间距而定，使得舟脚可以轻易穿过两根支杆之间形成的间距即可。所述的带孔面板长X宽的尺寸为107mmX 30mm，设有300 500个孔，便于从出风口出来的冷风能迅速冷却石墨舟。附图说明图I为本技术冷却桌主视图。图2为本技术冷却桌俯视图。图3为本技术冷却桌沿宽度方向的剖视图。图4为本技术轴流风机的出风口俯视图。如图所示1.桌脚，2.桌面本体，3.带孔面板，4.支杆，5.轴流风机，6.出风口，6. I.扇片。具体实施方式以下结合附图对本技术举例进一步详述。如图1-4，本技术的等离子体增强化学气相沉积法工序用冷却桌，包括桌脚1，桌面，和设置在桌面下方的轴流风机5，所述的桌面中部为由带孔面板3构成的镂空桌面，其特征在于所述的带孔面板3的下方设有两根支杆4，所述每根支杆4的两端均与桌面本体2连接(支杆可以采用焊接，或者与桌面本体一体设置，优选一体设置)，所述的两根支杆4沿桌面长度方向的两端均突出于带孔面板3的两端(即带孔面板沿桌面长度方向的两端与桌面本体之间不直接连接，而是有一定的镂空距离，该镂空距离要满足使得石墨舟的舟脚穿过)。采用上述结构，由于连接了两根支杆，两根支杆起到一定的承重作用，从而增加了带孔面板的承重能力，长时间放置重达15kg的石墨舟也不易导致带孔面板与桌面本体之间脱离。此外，由于两根支杆沿桌面长度方向的两端均突出于带孔面板的两端，即带孔面板的两端与桌面本体之间设有一定的镂空距离，当将石墨舟放置在带孔面板上时，四个舟脚就可以通过镂空距离悬空，而不直接与带孔面板接触，从而舟脚不再承受石墨舟的重量，达到有效保护舟脚不易断裂。而且，舟脚悬空后，减小了石墨舟与轴流风机之间的间距，使得风机吹出的冷却空气快速有效的吹到石墨舟上，达到及时冷却的目的，短时间内即可回收冷却的娃片，提闻广量。为了进一步增加了带孔面板的承重能力，不易导致与桌面本体的脱离，作为优选，所述的带孔面板与桌面本体为一体设置。为了可以增大冷却风的强度，同时保证均匀、快速的给予石墨舟降温，作为优选，所述的轴流风机5为两个，所述的两个轴流风机5沿桌面的长度方向等距离分布。为了便于轴流风机鼓吹出的冷风能均匀的分布在石墨舟上，达到快速冷却石墨舟的目的，作为优选，所述的轴流风机5的上方设置有出风口 6，所述的出风口 6上设置有扇片6. 1，扇片沿水平方向可以有一定的倾斜角，可以达到增强风力的作用(为安全 起见，两个风机除顶部有焊接的出风口外，其他地方用耐高温材质包围)。为了减轻整体冷却桌的重量，便于工人搬运，作为优选，所述的两根支杆为空心管。进一步的，为了工人便于取片操作，所述冷却桌的长X宽X高的尺寸为140mmX60mmX80mm,冷却桌用轻质、耐高温易焊接材料制作,特别是O. 5mm厚的306不锈钢材质。所述两根支杆的间距(即两根支杆沿桌面宽度方向相邻两边的边缘距离)根据国产石墨舟舟脚间距而定，使得舟脚可以轻易穿过两根支杆之间形成的间距即可，如一般两根支杆的间距为13 14mm，石墨舟同一端的两舟脚外沿距离为12mm。所述的带孔面板长X宽的尺寸为107mmX 30mm，设有300 500个孔，便于从出风口出来的冷风能迅速冷却石墨舟。孔在带孔面板上均勻分布、直径2mm,石墨舟舟体放置在带孔面板上时，打开风机开关，冷风会从小孔中冷却石墨舟。本技术的的两根支杆选择外直径为3. 5mm,长140mm的空心管。本技术的轴流风机可采用市售的、功率为20W，80W的风机。本技术的出风口可根据风机功率来设计，小功率对应小的出风口，如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体增强化学气相沉积法工序用冷却桌，包括桌脚（1），桌面，和设置在桌面下方的轴流风机（5），所述的桌面中部为由带孔面板（3）构成的镂空桌面，其特征在于：所述的带孔面板（3）的下方设有两根支杆（4），所述每根支杆（4）的两端均与桌面本体（2）连接，所述的两根支杆（4）沿桌面长度方向的两端均突出于带孔面板（3）的两端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：余涛，吴艳芬，詹国平，陈筑，刘晓巍，刘伟，
申请(专利权)人：宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：