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本实用新型公开一种等离子体增强化学气相沉积法工序用冷却桌，包括桌脚（1），桌面，和设置在桌面下方的轴流风机（5），所述的桌面中部为由带孔面板（3）构成的镂空桌面，其特征在于：所述的带孔面板（3）的下方设有两根支杆（4），所述每根支杆（4）的...该专利属于宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种等离子体增强化学气相沉积法工序用冷却桌，包括桌脚（1），桌面，和设置在桌面下方的轴流风机（5），所述的桌面中部为由带孔面板（3）构成的镂空桌面，其特征在于：所述的带孔面板（3）的下方设有两根支杆（4），所述每根支杆（4）的...