一种电子可编程熔丝器件的修正方法技术

本发明专利技术公开了一种电子可编程熔丝器件的修正方法，适用于电子可编程熔丝器件，所述电子可编程熔丝器件包括两个多晶硅电极和连接于所述电极之间的电子可编程熔丝，上述电极和电子可编程熔丝位于一基板上，其中，在电子可编程熔丝两侧增加亚解析度附加图形，所述亚解析度附加图形用于改变所述电子可编程熔丝的特征尺寸；本发明专利技术的有益效果是：通过增加亚解析度附加图形，在多晶硅熔丝中形成不同的特征尺寸，从而形成不同的电流密度，增强了电子可编程熔丝的电迁移现象，进而增强了电子可编程熔丝器件的熔断性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子可编程熔丝
，具体涉及ー种电子可编程熔丝的修正方法。
技术介绍
传统的熔丝(Fuse)主要有三种 以激光烧断的金属熔丝(Laser Fuse),或是以大电流烧断的金属熔丝(Metal Fuse)和多晶硅熔丝(Poly Fuse)，现有市售产品因使用激光烧断、大电流烧断等制程，往往面临不可回复性等问题，如Metal Fuse或是Poly Fuse,需以较大电流进行，将受限于烧录设备与接脚的设计；而Laser Fuse仅能在芯片封装前进行，应用范围受限，且制程的良率较低。电子可编程熔丝(Electrically Programming Fuse, eFuse)是基于电迁移原理来进行编译的。与传统熔丝相比，电迁移特性可以生成小得多的熔丝结构，其采用的编译电压一般在2. 5V，一个持续几毫秒的十几毫安直流脉冲就足以编程单根熔丝。通常的电子可编程熔丝器件版图如图I所示，图中2和3分别为两个电扱，I为两电极间的多晶硅熔丝，4为电极上的接触孔。当在两电极之间加以较高电流时，在较高的电流密度的作用下，相关原子将会沿着电子运动方向进行迁移，形成空洞，最終断路，这种现象就是电迁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子可编程熔丝器件的修正方法，适用于电子可编程熔丝器件，所述电子可编程熔丝器件包括两个多晶硅电极和连接于所述电极之间的电子可编程熔丝，上述电极和电子可编程熔丝位于一基板上，其特征在于，在电子可编程熔丝两侧增加亚解析度附加图形，所述亚解析度附加图形用于改变所述电子可编程熔丝的特征尺寸。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：俞柳江，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：