基板处理方法及系统、该系统的运用方法及控制装置制造方法及图纸

一种基板处理系统的控制装置，该基板处理系统，具有：基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器；自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作，所述基板处理系统的控制装置具有虚拟装载台控制装置，所述虚拟装载台控制装置对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及进行与基板处理装置的内部之间连同容纳器一起交接半导体晶片、液晶显示器用基板、等离子显示器用基板、有机EL用基板、FED(Field Emission Display :场发射显示器)用基板、光学显示器用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、太阳能电池用基板(下面，简称为基板)的控制，或进行与自动物料搬运系统之间交接容纳器的控制的控制装置、基板处理方法、基板处理系统、基板处理系统的运用方法、装载台控制装置及具有装载台控制装置的基板处理系统。
技术介绍
以往，作为这种基板处理系统可列举具有基板处理装置、自动物料搬运系统和对 整体进行控制的主计算机的系统，其中，所述基板处理装置具有基板处理单元、容纳器容置/搬运单元、装载台(load port)、装载台控制装置,所述自动物料搬运系统根据主计算机的指示搬运容纳器。基板处理单元对基板进行各种处理。容纳器容置/搬运单元与基板处理单元并排设置，容置或者搬运用于容置基板的FOUP (Front Opening Unified Pod :前开式统ー标准箱)。装载台与容纳器容置/搬运单元并排设置，用于载置F0UP。装载台控制装置控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理系统的控制装置，该基板处理系统具有：基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器，自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作；所述基板处理系统的控制装置的特征在于，具有虚拟装载台控制装置，所述虚拟装载台控制装置对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：柴田英树，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：