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一种基板处理系统的控制装置，该基板处理系统，具有：基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器；自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作，所述基板处理系统的控制装置具有虚拟装载台控制装...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。

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