【技术实现步骤摘要】
本技术涉及用于承载石英舟的石英母舟，并且尤其涉及一种具有支撑脚的石英母舟。
技术介绍
三氯氧磷预淀积是半导体晶圆片制造过程中的一个重要工序，在该工序中普遍采用石英母舟作为放置晶圆片的石英舟的载体。在扩散炉进行的三氯氧磷预淀积的温度一般在95(nioo°c之间，在这种条件下，石英母舟在一定时期的使用过程中会逐渐变形。具体来讲，由于石英母舟较长，其主要的承重部分在本体的中间区域，因此使用一定时期(例如2 3个月)后会造成石英母舟本体中间凹陷，两头翘起。变形的石英母舟容易与扩散炉管内壁发生摩擦，可能导致晶圆片碎裂，造成巨大损失。同时，变形的石英母舟对扩散炉管内的气流 分布也有较大影响，从而导致晶圆片三氯氧磷预淀积的均匀性变差。已知的解决方案根据石英母舟的使用情况和变形程度每隔3个月左右对石英母舟进行更换，以防止其损坏或影响晶圆片。上述解决方案成本较高。更重要的是，现有技术的中的石英母舟抗变形能力较弱，在扩散炉内承重受热很快会发生中间凹陷、两头翘起的情况，继续使用就会导致晶圆片损坏、淀积均匀性变差等问题。本专利技术的目的设计一种石英母舟，其所具备的支撑角能够缓解石英母舟...
【技术保护点】
一种具有支撑脚的石英母舟，其特征在于，包括本体和多个支撑脚，其中，所述多个支撑脚形成在本体的底部以用于防止石英母舟在高温中变形过快。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：潘之炜，季勇，周宇凡，蒋凯，
申请(专利权)人：无锡华润华晶微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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