【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种动态标准气体发生器。
技术介绍
现有的标准气体发生器只能用于标准物质渗透管方式获得不同含量该标准物质的标准气体；标准气体稀释器只能用于 瓶装高浓度的标准气体进行稀释获得该标准气体的微量含量标准物质；且需配备超高纯气体。
技术实现思路
本技术提出一种动态标准气体发生器，它能够有效地克服现有技术中动态标准气体发生器的缺点，它利用各种标准物质渗透管可获得不同含量该标准物质的标准气体；而且可对瓶装高浓度的标准气体进行稀释，即可获得该标准气体的微量含量标准物质。本技术的技术方案是这样实现的一种动态标准气体发生器，它包括一个小流量质量流量控制器和一个大流量质量流量控制器，所述小流量质量流量控制器和大流量质量流量控制器通过管路采用双路并联连接的方式，还包括与双路并联管路连接的背压阀。作为优选，所述小流量质量流量控制器管路包括通过管路依次连接的第一电磁阀、小流量质量流量控制器、渗透腔、第二电磁阀。作为优选，所述大流量质量流量控制器管路包括通过管路依次连接第三电磁阀、纯化器、大流量质量流量控制器、第四电磁阀。作为优选，所述背压阀的另一端连接有第五电磁阀和转子流量计。作为优选...
【技术保护点】
一种动态标准气体发生器，其特征在于：它包括一个小流量质量流量控制器和一个大流量质量流量控制器，所述小流量质量流量控制器和大流量质量流量控制器通过管路采用双路并联连接的方式，还包括与双路并联管路连接的背压阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张根华，金星屹，
申请(专利权)人：重庆瑞信气体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。