下载动态标准气体发生器的技术资料

文档序号:8180306

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本实用新型提出了一种动态标准气体发生器。它包括一个小流量质量流量控制器和一个大流量质量流量控制器,所述小流量质量流量控制器和大流量质量流量控制器通过管路采用双路并联连接的方式,还包括与双路并联管路连接的背压阀。本实用新型的优点是当采用上述结...
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