一种输送硅片的吸盘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于机械领域，具体为一种输送硅片的吸盘装置。包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的吸气管与真空泵相连，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连。本实用新型专利技术在吸盘固定座下方设置三只吸盘脚，并且吸盘脚的高度可调节，因此，能够方便地使硅片与吸盘调节在同一水平面上，使之在吸合移动过程中稳定地吸住硅片，保证了硅片在移动过程中的安全性；将该吸盘装置用于硅片的自动装片设备上，能够既安全又快速的完成硅片的自动装片。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于机械领域，具体为一种输送硅片的吸盘装置。
技术介绍
目前的硅片装片都要通过人工装入篮具内，这样既容易对硅晶片造成人为污染，又增加工人的劳动强度，无法提高工作效率，因此设计一种能够提供工作效率、无污染输送硅片的装置是非常必要的。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种输送硅片的吸盘装 置的技术方案。所述的一种输送硅片的吸盘装置，包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的吸气管与真空泵相连，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连。所述的一种输送硅片的吸盘装置，所述的升降机构为气动升降机构或螺旋式升降机构。所述的一种输送硅片的吸盘装置，所述的气动升降机构由气缸和活塞构成相配合的升降部件；所述的螺旋式升降机构由丝杠和螺母构成相配合的升降部件。所述的一种输送硅片的吸盘装置，所述的吸盘脚上配合设置高度调节杆，该高度调节杆为中空结构。本技术在吸盘固定座下方设置三只吸盘脚，并且吸盘脚的高度可调节，因此，能够方便地使硅片与吸盘调节本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送硅片的吸盘装置，包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，其特征在于所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的吸气管与真空泵相连，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙明祥，
申请(专利权)人：浙江好亚能源股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：