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本实用新型属于机械领域，具体为一种输送硅片的吸盘装置。包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的...
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