化合物半导体发光元件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种化合物半导体发光元件的制造方法，其用于制造具有如下特征的化合物半导体发光元件：导电性薄膜（8）的透射率高、接触电阻低且导电性薄膜（8）的薄层电阻低。本发明专利技术的化合物半导体发光元件的制造方法的特征在于，包括：在基板（1）上形成由III族氮化物半导体构成且包含发光层（3）的半导体层的步骤；在半导体层与基板（1）相接一侧的相反侧形成导电性薄膜（8）的步骤；在含氧的环境下对导电性薄膜（8）进行一次退火的步骤；在不含氧的环境下对导电性薄膜（8）进行二次退火的步骤；在进行一次退火的步骤与进行二次退火的步骤之间，将导电性薄膜（8）暴露于大气的步骤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种，特别是涉及一种具有提高透光性、薄层电阻及接触电阻性能的导电性薄膜的。
技术介绍
为了将照明器具扩展到各种照明用途，发出红、绿、蓝三原色光的技术是必不可少的。关于这点，由于发光二极管(LED Light Emitting Diode :发光二级管)的蓝色LED的完成时间较晚，所以缺少三原色中的蓝色，不能扩展到各种用途。但是，由于90年代专利技术了氮化物类的蓝色LED，所以使用LED的产品不仅用于信号，还扩展到液晶监视器的背光以至于液晶电视的背光、家庭用等各种照明用途。 近年来，搭载有LED背光的液晶电视的价格下滑，并开始迅速普及。另外，使用LED的照明与以往的照明相比，由于降低消耗电力、节省空间、因无水银而对环境有益等优点，所以在2009年夏，以比以往更便宜的价格发售了使用LED的照明器具，并迅速普及。然而，在照明及液晶电视的背光中使用了白色光。白色光一般是通过蓝色LED和YAG (钇铝石榴石)黄色荧光体的组合，或者蓝色LED、绿色荧光体和红色荧光体的组合而实现的。即，在实现白色光的情况下，任一种组合都需要蓝色LED。因此，需要廉价且大量地制造高亮度的蓝色LED的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷本佳美，园田孝德，池田英明，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：