下载化合物半导体发光元件的制造方法的技术资料

文档序号:8165912

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本发明提供一种化合物半导体发光元件的制造方法,其用于制造具有如下特征的化合物半导体发光元件:导电性薄膜(8)的透射率高、接触电阻低且导电性薄膜(8)的薄层电阻低。本发明的化合物半导体发光元件的制造方法的特征在于,包括:在基板(1)上形成由I...
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