半导体装置制造方法及图纸

半导体装置(100)具备：在基板上形成于每个像素的第1导电型的第1薄膜晶体管(105)；以及多个光传感部(200)，各光传感部(200)包含：包含薄膜二极管(202)的受光部；存储由薄膜二极管(202)产生的光电流的电容(206)；第1导电型的第2薄膜晶体管(204)，受光部通过第2薄膜晶体管(204)连接于电容(206)，第1薄膜晶体管和第2薄膜晶体管(105、204)与薄膜二极管(202)具有由同一半导体膜形成的半导体层，第1薄膜晶体管(105)的特性与第2薄膜晶体管(204)的特性不同。由此，能够与各个薄膜晶体管所要求的特性相应地控制像素用的薄膜晶体管和在光传感部使用的薄膜晶体管的特性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体装置技术区域本专利技术涉及具备包含薄膜二极管(Thin Film Diode TFD)的光传感部的半导体装置。
技术介绍
近年来，具备利用了 TFD的光传感部的显示装置或图像传感器等电子设备的开发正在推进。例如在专利文献I中，提出了由同一非晶质半导体膜形成结晶状态互不相同的TFD和薄膜晶体管(Thin Film Transistor :TFT)的半导体层。这些TFD和TFT能够应用·于例如具备光学式触摸面板的显示装置。在这样的显示装置中，TFT设置于显示区域的每个像素，被用作像素用开关元件(像素用TFT)。另外，设置于配置于显示区域的周边的边框区域，被用作构成驱动电路的驱动电路用TFT。另一方面，TFD被用作受光元件。通过在显示区域设置例如包含TFD的光传感部，能够利用外部光线探测与画面接触的手指等物体。另外，专利文献2提出了在具备光学式触摸面板的显示装置中，使用检测不可见光线的传感器，利用从背光源出射的不可见光线进行传感。在专利文献2所公开的显示装置中，利用设置于显示装置的各像素的传感器来检测从背光源出射的、由与画面接触的手指等物体反射的不可见光。图11是示出专利文献I所公开的光传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈岛奈美，藤原正弘，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：