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固体摄像装置、其制造方法以及电子设备制造方法及图纸

技术编号:8162625 阅读:141 留言:0更新日期:2013-01-07 20:12
本发明专利技术提供了一种固体摄像装置、其制造方法以及电子设备,所述固体摄像装置包括:半导体基板、连接部以及形成在半导体基板中的一个以上第一光电转换单元。半导体基板具有背面侧和正面侧。背面侧为光入射面,且正面侧为电路形成面。连接部连接至用于将半导体基板的背面侧生成的信号电荷传送至半导体基板中的接触插头。连接部在半导体基板的背面侧的半导体基板的界面附近具有杂质浓度分布的峰值。本发明专利技术能够在在半导体基板的背面侧的半导体基板中形成高浓度的杂质区。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固体摄像装置,其包括:半导体基板,其具有背面侧和正面侧,所述背面侧为光入射面,所述正面侧为电路形成面;连接部,其连接至用于将所述半导体基板的所述背面侧生成的信号电荷传送至所述半导体基板中的接触插头,所述连接部在所述半导体基板的所述背面侧的所述半导体基板的界面附近具有杂质浓度分布的峰值;以及一个以上第一光电转换单元,它们形成于所述半导体基板中。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:宫波勇树
申请(专利权)人:索尼公司
类型:发明
国别省市:

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