平板型X射线图像传感器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种平板型X射线图像传感器，通过将Vcom环形回路与多条数据线交叠的区域内的部分Vcom环形回路设计成由多根相互之间具有间隙的支线段组成的支线段组，且所述支线段组两头超出所述交叠的区域，从而当由于静电放电击穿而需要切割Vcom环形回路时，只需切割支线段组中多根支线段中的一根即可，由此，支线段组中剩余的多根支线段仍旧可以实现向光电二极管提供偏置电压的功能，进而避免了Vcom环形回路修复后出现浮空状态，无法为光电二极管提供有效的偏置电压的问题，保证了平板型X射线图像传感器的性能。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及图像显示
，特别涉及一种平板型X射线图像传感器。
技术介绍
平板型X射线图像传感器是一种将X光按光强转化为电信号的装置。X光照射物体并且穿透物体后，通过吸收、散射、发射而使光强发生变化，不同区域的不同光强，表示了被照射物体不同区域的内部结构的差异。穿透被照射物体的X光通过平板型X射线图像传感器转化为相应的电信号，最终实现一个与被照射物体内部结构直接相关的灰阶图像。所以平板型X射线图像传感器实现了物体的无损内部成像，是实现无损检测的最佳方法之一，在医疗成像，工业无损探测等领域都得到了广泛的应用和长足的发展。平板型X射线图像传感器是一个大面积的像素阵列，像素的大小和多少反映了 最后图像的分辨率和面积。请参考图1，其为平板型X射线图像传感器中一个像素的结构示意图。如图I所示，平板型X射线图像传感器中每个像素都包括一个光电二极管(PIN Photo-Diode) 12及与所述光电二极管12耦接、用以控制电信号的读取的薄膜晶体管(TFT) 11。具体的，当X射线照射到闪烁层13(Scintillator，例如碘化铯，用以将X射线转换成可见光)上，X射线被转换为可见光，光电二极管12在可见光的照射下产生光电子，在光电二极管偏置电压Vcom(公共电极)15的作用下，电子存储到光电二极管底电极14上，接着由扫描时序电路(图I中未示出)驱动TFT 10逐行打开，光电二极管12产生的光电子被读出电路(图I中未示出)收集并转换为数字信号。现有的平板型X射线图像传感器中，给光电二极管提供偏置电压的Vcom (公共电极)包括外围的Vcom总线及显示区内的Vcom线，其中，外围的Vcom总线围绕像素阵列成环形形状，位于不同层(layer)的信号线(一般为数据信号线)不可避免的与环形形状的Vcom总线(Vcom环形回路，以下简称Vcom ring)相交叠。由于工艺设备接触、电路贴合(1C/FPC bonding)、性能测试等手动操作过程中会引入静电，通常在数据信号线与Vcom ring交叠处释放而产生静电放电(Electron Static Discharge, ESD)击穿,导致数据信号线与Vcom ring短路,使产品出现坏线而成为废品。此类缺陷现有的修复方式是激光隔离Vcomring与数据信号线的短路区域,但是这样修复后Vcom ring被断开,破坏了 Vcom环路电压的一致性，使得平板型X射线图像传感器性能下降。请参考图2，其为现有的平板型X射线图像传感器中Vcom ring修复状态示意图。如图2所示，所述平板型X射线图像传感器包括光电二极管10、与所述光电二极管10耦接的TFT 9、用以读取信号的数据信号线I及与所述信号线I相交叠的Vcom ring(在此，所述Vcom ring包括Vcom ring底层线2及Vcom ring顶层线3),当然，还包括与所述Vcomring连接的、位于显示区内的Vcom线5,所述Vcom ring底层线2与数据信号线I的交叠处具有有源层4。当由于静电放电击穿使得所述Vcom ring底层线2与数据信号线I连通时，就需要执行激光隔离Vcom ring的短路区域。例如,数据信号线A与Vcom ring底层线2具有击穿区域6，数据信号线C与Vcom ring底层线2具有击穿区域7，则进行激光修复时，需要将Vcom ring底层线2及Vcom ring顶层线3与数据线信号的短路区域予以隔离。具体的，在所述数据信号线A两侧执行激光切割8，在所述数据信号线C两侧执行激光切割8，此时即可把击穿区域6及击穿区域7予以隔离。但，这样的修复同时带来了一个问题，即数据信号线A与数据信号线C之间的Vcom ring底层线2及Vcom ring顶层线3被断开了，从而使得与该部分Vcom ring连接的Vcom线5处于浮空状态，即无法为光电二极管提供有效的偏置电压，从而降低了平板型X射线图像传感器的性能。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种平板型X射线图像传感器，以解决现有技术中Vcom ring(Vcom环形回路)修复后出现浮空状态,从而无法为光电二极管提供有效的偏置电压，降低了平板型X射线图像传感器的性能的问题。 为解决上述技术问题，本技术提供一种平板型X射线图像传感器，所述平板型X射线图像传感器包括多条数据线及Vcom环形回路，所述Vcom环形回路与所述多条数据线相交叠，所述Vcom环形回路包括由多根相互之间具有间隙的支线段组成的支线段组，所述支线段组位于所述交叠的区域，且所述支线段两头超出所述交叠的区域，且所述支线段组中每根支线段的宽度不同。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，所述支线段组中每根支线段为矩形。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，所述支线段组中每根支线段是长度相同的矩形金属线。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，所述支线段组中支线段的数量至少为两根。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，所述支线段组中相邻两根支线段之间的间隙形状相同。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，所述Vcom环形回路还包括由一总线段，所述总线段与支线段组连接。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，所述支线段的线宽总和小于或等于所述总线段的线宽。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，所述支线段与总线段由同一导电层同时形成。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，所述Vcom环形回路包括Vcom环形回路底层线及位于所述Vcom环形回路底层线之上的Vcom环形回路顶层线。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，所述Vcom环形回路底层线为栅极线。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，所述Vcom环形回路顶层线为ITO透明电极线。可选的，在所述的平板型X射线图像传感器中，还包括光电二极管及与所述光电二极管耦接的薄膜晶体管。在本技术提供的平板型X射线图像传感器中，通过将Vcom环形回路与多条数据线交叠的区域内的部分Vcom环形回路设计成由多根相互之间具有间隙的支线段组成的支线段组，且所述支线段组两头超出所述交叠的区域，从而当由于静电放电击穿而需要切割Vcom环形回路时，只需切割支线段组中多根支线段中的一根即可，由此，支线段组中剩余的多根支线段仍旧可以实现向光电二极管提供偏置电压的功能，进而避免了 Vcom环形回路修复后出现浮空状态，无法为光电二极管提供有效的偏置电压的问题，保证了平板型X射线图像传感器的性能。附图说明图I是平板型X射线图像传感器中一个像素的结构示意图；图2是现有的平板型X射线图像传感器中Vcom ring修复状态示意图；图3是本专利技术实施例的平板型X射线图像传感器的结构示意图。·具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提供的平板型X射线图像传感器作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参考图3，其为本专利技术实施例的平板型X射线图像传感器的结构示意图。如图3所示，所述平板型X射线图像传感器包括多条数据线31 ;及Vcom环形回路32，所述Vcom环形回路32与所述多条数据线31具有交叠33，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板型X射线图像传感器，其特征在于，包括：多条数据线及Vcom环形回路，所述Vcom环形回路与所述多条数据线相交叠，所述Vcom环形回路包括由多根相互之间具有间隙的支线段组成的支线段组，所述支线段组位于所述交叠的区域，且所述支线段两头超出所述交叠的区域，且所述支线段组中每根支线段的宽度不同。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡世文，
申请(专利权)人：上海天马微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：