【技术实现步骤摘要】
本实施方式一般涉及。
技术介绍
在现有的固体拍摄装置中，在各光电变换元件的电荷积蓄区域中积蓄由多个光电变换元件进行光电变换后的电荷，并通过从电荷积蓄区域中读出电荷来进行拍摄。 在这种固体拍摄装置中，当在各光电变换元件的电荷积蓄区域中积蓄的电荷向其它光电变换元件的电荷积蓄区域漏出时，拍摄图像的画质劣化。因此，在各光电变换元件之间设置用于防止电荷漏出的元件分离区域。这种元件分离区域例如通过向在半导体基板形成的成为光电变换元件之间的边界的区域离子注入与电荷积蓄区域不同的导电型杂质并使其热扩散来形成。但是，杂质热扩散的扩散范围由于半导体基板的深度位置而不均等，因此，在通过离子注入及热扩散形成的元件分离区域中，存在元件分离特性不充分的地方。
技术实现思路
本专利技术所要解决的问题是提供能够提高元件分离特性的。实施方式的固体拍摄装置的制造方法，其特征在于，包括元件分离区域形成工序，其使第I导电型半导体层外延生长，形成分离光电变换元件之间的元件分离区域；以及电荷积蓄区域形成工序，其使第2导电型半导体层外延生长，形成上述光电变换元件中的电荷积蓄区域。另一个实施方式的固体拍摄装置，其...
【技术保护点】
一种固体拍摄装置的制造方法，其特征在于，包括：元件分离区域形成工序，其使第1导电型半导体层外延生长，形成分离光电变换元件之间的元件分离区域；以及电荷积蓄区域形成工序，其使第2导电型半导体层外延生长，形成上述光电变换元件中的电荷积蓄区域。
【技术特征摘要】
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