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固体拍摄装置及固体拍摄装置的制造方法制造方法及图纸
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下载固体拍摄装置及固体拍摄装置的制造方法的技术资料
文档序号:8162623
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根据实施方式,提供了固体拍摄装置的制造方法。固体拍摄装置的制造方法包括元件分离区域形成工序和电荷积蓄区域形成工序。在元件分离区域形成工序中,使第1导电型半导体层外延生长,形成分离光电变换元件之间的元件分离区域。在电荷积蓄区域形成工序中,使第...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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