固体浸没透镜保持器及图像取得装置制造方法及图纸
Solid immersion lens holder and image acquisition device
Solid immersion lens holder (8) has first members (70), it has to face the ball (6a) part of the lens (21) to the side of the ball face (6a) on the internal configuration of the first opening (71); and 2 members (80), it has to contact the surface (6F) and objective (21) to the opposite side of the protruding side abutting portion (6D) is arranged on the internal opening (87) second. The first member (70) has 3 protrusions (73) that form an inner surface () from the first opening (71) extending to the central side of the first opening (71) and capable of contacting the ball face (6a).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】固体浸没透镜保持器及图像取得装置
本专利技术的一个方面涉及一种固体浸没透镜保持器及具备固体浸没透镜保持器的图像取得装置。
技术介绍
作为用于获得观察对象物的放大图像的透镜，已知有固体浸没透镜(SIL：SolidImmersionLens)。固体浸没透镜是例如呈半球形状或称为魏尔斯特拉斯(Weierstrass)球的超半球形状且尺寸为1mm～5mm左右的微透镜。若使该固体浸没透镜紧贴于观察对象物的表面而设置，则数值孔径(NA)及倍率同时扩大，因而可实现较高的空间分辨率下的观察。作为用于在物镜的前方(观察对象物侧)保持这样的固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器，已知有例如专利文献1所记述的固体浸没透镜保持器。专利文献1所记述的固体浸没透镜保持器具有大于固体浸没透镜的球面部的收纳空间，可摇动地保持固体浸没透镜。由此，在使固体浸没透镜的底面(抵接面)抵接于观察对象物并紧贴时，在固体浸没透镜保持器内固体浸没透镜摇动而抵接面顺着观察对象物的表面而紧贴，从而能够达成固体浸没透镜与观察对象物的良好的紧贴。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006-201407号公报
技术实现思路
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【技术保护点】
一种固体浸没透镜保持器，其特征在于，是在物镜的前方保持固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器，所述固体浸没透镜具有：球面部，其与所述物镜相对地配置；及抵接部，其包含抵接于观察对象物的抵接面，所述固体浸没透镜保持器具备：第1构件，其具有以所述球面部的一部分向所述物镜侧突出的方式将所述球面部配置于内部的第1开口；及第2构件，其具有以所述抵接面向与所述物镜侧相反侧突出的方式将所述抵接部配置于内部的第2开口，所述第1构件具有构成为自所述第1开口的内表面向所述第1开口的中心侧延伸且能够与所述球面部接触的3个突出部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.26 JP 2014-1970081.一种固体浸没透镜保持器，其特征在于，是在物镜的前方保持固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器，所述固体浸没透镜具有：球面部，其与所述物镜相对地配置；及抵接部，其包含抵接于观察对象物的抵接面，所述固体浸没透镜保持器具备：第1构件，其具有以所述球面部的一部分向所述物镜侧突出的方式将所述球面部配置于内部的第1开口；及第2构件，其具有以所述抵接面向与所述物镜侧相反侧突出的方式将所述抵接部配置于内部的第2开口，所述第1构件具有构成为自所述第1开口的内表面向所述第1开口的中心侧延伸且能够与所述球面部接触的3个突出部。2.如权利要求1所述的固体浸没透镜保持器，其特征在于，所述3个突出部以120度间隔设置于所述第1开口的周向上。3.如权利要求1或2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：寺田浩敏，荒田育男，活洲政敬，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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