薄膜晶体管基板制造技术

本实用新型专利技术适用于显示领域，提供了一种薄膜晶体管基板，包括：一基板；复数条扫瞄线，形成在该基板上；一闸极绝缘层，形成在该基板上，并覆盖该些扫瞄线；复数个第一蚀刻停止层，形成在该闸极绝缘层上；复数条数据线，形成在该闸极绝缘层上，并分别覆盖该些第一蚀刻停止层，其中每一该数据线和每一该扫瞄线之交越处定义有一爬坡区，在该爬坡区内该第一蚀刻停止层及该闸极绝缘层位于该数据线与该扫瞄线之间；以及一保护层，形成在该闸极绝缘层上，并覆盖该些数据线。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于显示领域，特别是有关于ー种可防止资料线与扫瞄线电性连接的金属氧化物薄膜晶体管基板。
技术介绍
近年来，由于半导体制程技术的进步，薄膜晶体管基板的制造越趋容易、快速。在制造液晶面板用的薄膜晶体管基板时，除了在基板上形成复数个薄膜晶体管之夕卜，同时也会形成复数条扫瞄线和复数条数据线。扫瞄线用以控制薄膜晶体管的开关；数据线传送数据讯号给薄膜晶体管。如图I所示，为习知非晶硅薄膜晶体管(a-Si TFT)液晶面板之扫瞄线和数据线之交越处之结构剖面图。在基板Iio上形成扫瞄线120。然后，于基板110上形成闸极绝缘层(gate insulation layer) 130,并覆盖该扫猫线120。而后,在闸极绝缘层130上形成数据线140,。最后在闸极绝缘层130上形成保护层(passivation layer) 150,并覆盖数据线140。由于闸极绝缘层130在扫瞄线120的转角处成膜可能不良，因此容易造成闸极绝缘层130在扫瞄线120的转角处覆盖不良，即称为爬坡断线，如此将可能使数据线140就容易与扫瞄线120电性连接。因此，便有需要提供ー种可防止数据线与扫瞄线电性连接的薄膜晶体管基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜晶体管基板，包括：一基板；复数条扫瞄线，形成在所述基板上；一闸极绝缘层，形成在所述基板上，并覆盖所述扫瞄线；复数个第一蚀刻停止层，形成在所述闸极绝缘层上；复数条数据线，形成在所述闸极绝缘层上，并分别覆盖所述第一蚀刻停止层，其中每一数据线和每一扫瞄线之交越处定义有一爬坡区，在所述爬坡区内，所述第一蚀刻停止层及闸极绝缘层位于所述数据线与扫瞄线之间；以及一保护层，形成在所述闸极绝缘层上，并覆盖所述数据线。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陆富财，陈盈惠，
申请(专利权)人：深圳华映显示科技有限公司，中华映管股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：