【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施方式涉及加热器单元、使用该加热器单元的风扇过滤器单元、使用该风扇过滤器单元的基板处理装置。
技术介绍
在半导体晶片和液晶基板等基板处理工序中，为了防止基板处理时广生不良情况，需要在抑制基板处理装置内的灰尘的环境下进行基板处理。通过向基板处理装置内供应采用过滤器捕集了灰尘后的清洁空气，来进行基板处理装置内灰尘的抑制。 此外，在基板处理步骤中，通过提高处理环境的温度，可以激活处理反应以加快处理速度，并且可以提高生产率。因此，在基板处理装置之外设置产生热风的热风产生装置，将由热风产生装置产生的热风供应到基板处理装置内，并且使用过滤器捕集对基板处理装置内供应的热风中的灰尘。此外，热风发生装置包括框体、容纳在框体内的加热器以及向框体内送入空气的风扇，在热风产生装置和基板处理装置之间连接有送风管。在送风管的基板处理装置的入口部分设置捕集灰尘的过滤器。另一方面，作为不分别设置热风产生装置和基板处理装置而向基板处理装置内供应清洁热风的装置，已知有如下装置在基板处理装置的上部设置包括风扇、加热器和过滤器的风扇过滤器单元。但是，分别设置热风产生装置和基板处理装置并且...
【技术保护点】
一种加热器单元，其特征在于，包括：将线状发热体弯曲成平面状而形成的平面状加热器；以导热性高的材料形成为网状，并且在所述平面状加热器的至少一面侧与该平面状加热器相对配置的第一网状体；以及以比所述第一网状体的导热性低的材料形成为网状，并且与所述第一网状体的、与所述平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体。
【技术特征摘要】
2011.06.21 JP 137060/20111.一种加热器单元，其特征在于，包括 将线状发热体弯曲成平面状而形成的平面状加热器； 以导热性高的材料形成为网状，并且在所述平面状加热器的至少一面侧与该平面状加热器相对配置的第一网状体；以及 以比所述第一网状体的导热性低的材料形成为网状，并且与所述第一网状体的、与所述平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体。2.根据权利要求I所述的加热器单元，其特征在于， 所述第一网状体是以铝为材料而形成的铝制网， 所述第二网状体包括不锈钢制网和玻璃纤维制网，所述不锈钢制网以不锈钢为材料而形成，并且与所述铝制网的、与所述平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置，所述玻璃纤维制网以玻璃纤维为材料而形成，并且与所述不锈钢制网的、与所述铝制网相对的面的相反侧的面相对配置。3.根据权利要求I所述的加热器单元，其特征在于，包括 测量所述平面状加热器的温度的第一温度测量部；以及 控制向所述平面状加热器的通电以使所述第一温度测量部的测量值达到设定值的温度控制部。4.根据权利要求I所述的加热器单元，其特征在于，包括 测量所述第一网状体的温度的第二温度测量部；以及 在所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：古矢正明，石见宗宪，和歌月尊彦，近藤正纪，山田胜哉，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：
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