本发明专利技术提供加热器单元、使用该加热器单元的风扇过滤器单元、使用该风扇过滤器单元的基板处理装置，可以使通过加热器单元内的空气均匀且效率高地加热，并且可以抑制从加热器对配置在加热器单元周围的部件的热传递。实施方式所涉及的加热器单元(15)包括：将线状发热体(26)弯曲成平面状而形成的平面状加热器(22)；以导热性高的材料形成为网状并且在平面状加热器(22)的至少一面侧与该平面状加热器(22)相对配置的第一网状体(23)；以及以比第一网状体(23)的导热性低的材料形成为网状并且与第一网状体(23)的与平面状加热器(22)相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体(24、25)。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施方式涉及加热器单元、使用该加热器单元的风扇过滤器单元、使用该风扇过滤器单元的基板处理装置。
技术介绍
在半导体晶片和液晶基板等基板处理工序中，为了防止基板处理时广生不良情况，需要在抑制基板处理装置内的灰尘的环境下进行基板处理。通过向基板处理装置内供应采用过滤器捕集了灰尘后的清洁空气，来进行基板处理装置内灰尘的抑制。 此外，在基板处理步骤中，通过提高处理环境的温度，可以激活处理反应以加快处理速度，并且可以提高生产率。因此，在基板处理装置之外设置产生热风的热风产生装置，将由热风产生装置产生的热风供应到基板处理装置内，并且使用过滤器捕集对基板处理装置内供应的热风中的灰尘。此外，热风发生装置包括框体、容纳在框体内的加热器以及向框体内送入空气的风扇，在热风产生装置和基板处理装置之间连接有送风管。在送风管的基板处理装置的入口部分设置捕集灰尘的过滤器。另一方面，作为不分别设置热风产生装置和基板处理装置而向基板处理装置内供应清洁热风的装置，已知有如下装置在基板处理装置的上部设置包括风扇、加热器和过滤器的风扇过滤器单元。但是，分别设置热风产生装置和基板处理装置并且经送风管将由热风产生装置产生的热风向基板处理装置内供应的方式，需要设置热风产生装置的空间，包含基板处理装置和热风产生装置的装置整体的设置空间变大。此外，在具有多个连接到热风产生装置的基板处理装置的情况下，存在连接热风产生装置和各基板处理装置的送风管的长度在每个基板处理装置中互不相同的情况，由于送风管的长度不同而使得对各基板处理装置供应的热风的温度容易产生偏差。当对各基板处理装置供应的热风的温度产生偏差时，在各基板处理装置内处理的半导体晶片等的品质将产生偏差。此外，在使用包含加热器的风扇过滤器单元的情况下，加热器的热量容易传递到过滤器。由于过滤器的耐热温度是60°C左右，所以过滤器由于来自加热器的热量向过滤器传递而变形等劣化，灰尘的捕集性能降低。
技术实现思路
鉴于上述情况，研发了本专利技术，其目的是提供加热器单元、使用该加热器单元的风扇过滤器单元以及使用该风扇过滤器单元的基板处理装置，可以均匀并且效率良好地加热通过加热器单元的空气，并且可以抑制从加热器对配置在加热器单元周围的部件的热传递。本专利技术实施方式所涉及的第一特征在于，在加热器单元中，包括将线状发热体弯曲成平面状而形成的平面状加热器；以导热性高的材料形成网状，并且在平面状加热器的至少一面侧与该平面状加热器相对配置的第一网状体；以及以比第一网状体的导热性低的材料形成网状，并且与第一网状体的与平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体。本专利技术实施方式所涉及的第二特征在于，在风扇过滤器单元中，包括具有吹送空气的风扇的风扇单元；具有捕集吹送的空气中的灰尘的过滤器的过滤器单元；以及使设置有第一网状体和第二网状体一侧的面与过滤器单元相对并且配置在风扇单元和过滤器单元之间的、第一特征所述的加热器单元。本专利技术实施方式所涉及的第三特征在于，在基板处理装置中，包括内部设置用于基板处理的机构的框体以及安装于该框体并且向该框体内供应空气的、第二特征所述的风扇过滤器单元。附图说明 图I是示出本专利技术第一实施方式所涉及的基板处理装置的概略结构的模式图。图2是示出风扇过滤器单元的分解立体图。图3是示出加热器单元的分解立体图。图4是示出加热器单元的一部分的剖视图。图5(a)是示出覆套式加热器(sheath heater)的纵向截面侧视图，图5 (b)是示出覆套式加热器的纵向截面正视图。图6是示出加热器单元的电气连接结构的模式图。图7是示出风扇加热器单元的电气连接结构的模式图。图8是示出本专利技术第二实施方式所涉及的风扇过滤器单元的剖视图。图9是示出本专利技术第三实施方式所涉及的风扇过滤器单元的剖视图。图10是示出本专利技术第四实施方式所涉及的平面状加热器的俯视图。图11是示出本专利技术其他实施方式所涉及的平面状加热器的弯曲结构的俯视图。图12是示出本专利技术其他实施方式所涉及的平面状加热器的弯曲结构的俯视图。图13是示出本专利技术其他实施方式所涉及的利用带状加热器的平面状加热器的俯视图。具体实施例方式(第一实施方式)基于图I至图7，说明本专利技术第一实施方式所涉及的基板处理装置I。如图I所示，基板处理装置I包括作为在内部设置用于基板处理的机构的框体的处理箱2、设置在处理箱2内的杯3、设置在杯3内并且以水平状态保持基板W的保持台4、使保持台4在水平面内旋转的旋转机构5、从上方对保持台4上的基板W供应处理液的供应喷嘴6、使供应喷嘴6沿着基板W的表面在水平方向上移动的移动机构7以及设置在处理箱2的天花板部上的风扇过滤器单元8。旋转机构5包括使保持台4旋转的电机9，移动机构7包括使供应喷嘴6在水平方向上移动的电机10。配管11、12的一端侧连接在供应喷嘴6上，一个配管11的另一端侧连接在供应处理液的处理液供应部(未图示)上，另一个配管12的另一端侧连接在供应气体的气体供应部(未图示)上。杯3用于接收从旋转的基板W上飞散的处理液。如图2所示，风扇过滤器单元8包括风扇单元13、过滤器单元14以及配置在这些风扇单元13和过滤器单元14之间的加热器单元15。风扇单元13具有壳体16，在该壳体16内容纳有作为风扇的螺旋浆式鼓风机17。此外，壳体16延伸到覆盖加热器单元15和过滤器单元14的外周部的位置。过滤器单元14具有过滤器保持框18，在该过滤器保持框18内保持有折叠成波纹(蛇腹状)的过滤器19。加热器单元15具有加热器框20和加热器框盖21，通过这些加热器框20和加热器框盖21保持加热器单元15的构成部件。 如图3和图4所示，在加热器单元15中包含有平面状加热器22 ;—对铝制网23，作为以导热性高的材料即铝形成为网状的第一网状体；一对不锈钢制网24，作为以导热率低至铝的大约1/10的不锈钢为材料而形成为网状的第一个第二网状体；以及一对玻璃纤维制网25，作为以导热率低至铝的大约1/200的玻璃纤维为材料而形成为网状的第二个第二网状体。平面状加热器22通过以相邻位置部分的间隔恒定的方式将线状发热体例如覆套式加热器( '>一文一夕)26漩涡状地弯曲而形成平面状。此外，如图5所示，覆套式加热器26通过在不锈钢等金属制管27内穿过发热线28，并且在管27和发热线28之间填充绝缘物29而形成。返回到图3，在平面状加热器22的两端连接通电用引出线30的一端侧，在平面状加热器22的表面上安装作为测量平面状加热器22的温度的第一温度测量部的加热器温度测量用热电对31。一对铝制网23配置在从两面侧夹着平面状加热器22的位置上，铝制网23的一个表面相对于平面状加热器22在多个区域形成点接触(参考图4)。在铝制网23的表面上，安装作为测量该铝制网23的温度的第二温度测量部的网温度测量用热电对32。此外，在铝制网23的外周侧的一部分上形成凹口部(切欠部)33，在该凹口部33内配置有恒温器34。一对不锈钢制网24与铝制网23的与平面状加热器22接触的表面的相反侧的表面相对，并且配置在夹着平面状加热器22和一对铝制网23的位置。该不锈钢制网24与恒温器34中的导热性高的部分即感热面34a抵接，通过恒温器34监视不锈钢制网24温度的上升。一对玻璃纤维制网25与不锈钢制网24本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种加热器单元，其特征在于，包括：将线状发热体弯曲成平面状而形成的平面状加热器；以导热性高的材料形成为网状，并且在所述平面状加热器的至少一面侧与该平面状加热器相对配置的第一网状体；以及以比所述第一网状体的导热性低的材料形成为网状，并且与所述第一网状体的、与所述平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体。
【技术特征摘要】
2011.06.21 JP 137060/20111.一种加热器单元，其特征在于，包括 将线状发热体弯曲成平面状而形成的平面状加热器； 以导热性高的材料形成为网状，并且在所述平面状加热器的至少一面侧与该平面状加热器相对配置的第一网状体；以及 以比所述第一网状体的导热性低的材料形成为网状，并且与所述第一网状体的、与所述平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体。2.根据权利要求I所述的加热器单元，其特征在于， 所述第一网状体是以铝为材料而形成的铝制网， 所述第二网状体包括不锈钢制网和玻璃纤维制网，所述不锈钢制网以不锈钢为材料而形成，并且与所述铝制网的、与所述平面状加热器相对的面的相反侧的面相对配置，所述玻璃纤维制网以玻璃纤维为材料而形成，并且与所述不锈钢制网的、与所述铝制网相对的面的相反侧的面相对配置。3.根据权利要求I所述的加热器单元，其特征在于，包括 测量所述平面状加热器的温度的第一温度测量部；以及 控制向所述平面状加热器的通电以使所述第一温度测量部的测量值达到设定值的温度控制部。4.根据权利要求I所述的加热器单元，其特征在于，包括 测量所述第一网状体的温度的第二温度测量部；以及 在所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：古矢正明，石见宗宪，和歌月尊彦，近藤正纪，山田胜哉，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：
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