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本发明提供加热器单元、使用该加热器单元的风扇过滤器单元、使用该风扇过滤器单元的基板处理装置，可以使通过加热器单元内的空气均匀且效率高地加热，并且可以抑制从加热器对配置在加热器单元周围的部件的热传递。实施方式所涉及的加热器单元(15)包括：将...
该专利属于芝浦机械电子株式会社;株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过芝浦机械电子株式会社;株式会社东芝授权不得商用。

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