卤素加热灯单元及热处理装置制造方法及图纸

提供一种卤素加热灯单元及热处理装置，长期使用时也不会产生发光管破损，使用寿命长。热处理装置具有：隔热筐体，包围对工件进行加热的热处理空间，由隔热材料构成；筒状体，配置成插通到形成于该隔热筐体的上壁的插入孔；以及卤素加热灯，作为加热工件的热源，具有由水平部及从该水平部两端向垂直方向延伸的垂直部构成的U字状的发光管，在发光管内的至少水平部配置有灯丝，该热处理装置的特征在于，该卤素加热灯配置成使该卤素加热灯的发光管的各垂直部在该垂直部的外周面和上述筒状体的内周面之间存在间隙的状态下插通到上述筒状体内。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种太阳能电池基板等的热处理所使用的卤素加热灯单元及热处理>J-U ρ α装直。
技术介绍
在太阳能电池基板的制造方法等中，需要在气氛温度保持为1000°C左右的高温的区域中进行热处理的工艺，作为进行该热处理的装置，例如如图3所示，公开了下述装置在包围对工件W进行加热的热处理空间H的由隔热材料构成的隔热筐体41的上壁设置有 插入孔45、45，并且作为加热工件W的热源，具有由水平部51A及从该水平部两端向垂直方向延伸的垂直部51B、51C构成的U字状的发光管51，在发光管51内的至少水平部5IA上配置了灯丝(未图示)的卤素加热灯50配置成其垂直部51B、51C插通到插入孔45、45内(例如参照专利文献I)。此外，在图3中，43是放置了工件W的运送单元42运入的运入口，44是该运送单元42运出的运出口。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2006 - 275499号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，在该热处理装置中存在长期使用后卤素加热灯的发光管发生破损的问题。对这一问题进行了验证，推测原因是卤素加热灯的发光管的垂直部的外周面被由隔热材料形成的壁部包围，从而使发光管变为过热状态，在该状态下工件被加热，使从该工件蒸发的杂质附着到发光管上，发光管和杂质进行反应，从而使发光管退化、破损。本专利技术鉴于以上情况而出现，其目的在于提供一种长期使用后也不会产生发光管破损的使用寿命长的卤素加热灯单元及热处理装置。本专利技术的卤素加热灯单元的特征在于具有卤素加热灯，该卤素加热灯具有由水平部及从该水平部两端向垂直方向延伸的垂直部构成的U字状的发光管，在发光管内的至少水平部配置有灯丝；以及筒状体，该筒状体配置成在该卤素加热灯的各垂直部的周围与该垂直部的外周面之间存在间隙。在本专利技术的卤素加热灯单元中，优选构成为上述卤素加热灯配置成卤素加热灯的发光管的各垂直部的端部由上述筒状体的上端支撑。本专利技术的热处理装置具有隔热筐体，该隔热筐体包围对工件进行加热的热处理空间，由隔热材料构成；筒状体，该筒状体配置成插通到形成于该隔热筐体的上壁的插入孔；以及卤素加热灯，该卤素加热灯作为加热工件的热源，具有由水平部及从该水平部两端向垂直方向延伸的垂直部构成的U字状的发光管，在发光管内的至少水平部配置有灯丝，该热处理装置的特征在于，该卤素加热灯配置成使该卤素加热灯的发光管的各垂直部在该垂直部的外周面和上述筒状体的内周面之间存在间隙的状态下插通到上述筒状体内。在本专利技术的热处理装置中优选，上述垂直部的外周面和上述筒状体的内周面之间的间隙的大小是IOmm。并且，在本专利技术的热处理装置中优选，上述筒状体由石英玻璃构成。并且，在本专利技术的热处理装置中优选，上述卤素加热灯配置成卤素加热灯的发光管的各垂直部的端部由上述筒状体的上端支撑。并且，在本专利技术的热处理装置中优选，上述筒状体在该筒状体的外周面和上述插入孔的内周面之间存在间隙的状态下插通到形成于上述隔热筐体的上壁的插入孔。并且，在本专利技术的热处理装置中优选，上述筒状体的外周面和上述插通孔的内周面之间的间隙的大小是(TlOmm。 进一步，在本专利技术的热处理装置中优选，上述筒状体配置成通过由上述隔热筐体支撑的夹紧型筒状体保持件而被夹紧，从而由该隔热筐体支撑。专利技术效果根据本专利技术的卤素加热灯单元，在发光管的垂直部的周围与该垂直部的外周面之间存在间隙地支撑筒状体，因此可使该卤素加热灯产生的热气流不滞留在垂直部的周围而穿过间隙，因此当作为热处理装置的加热源使用时，即使长期使用也不会产生发光管的破损，可获得长使用寿命。根据本专利技术的热处理装置，在插通到形成于隔热筐体的上壁的插通孔中的筒状体内，卤素加热灯配置成其发光管的垂直部在该垂直部的外周面和筒状体的内周面之间存在间隙的状态下插通。因此，垂直部的外周面不直接接触隔热筐体的上壁，并且可使热处理空间内产生的热气流不在垂直部周围滞留而在间隙中流通，并排出到外部，结果可抑制垂直部的过热。因此，即使从工件蒸发的杂质附着到该垂直部的外周面，也可抑制与发光管反应而在该外周面上生成反应物，从而在长期使用的情况下也不产生发光管的破损，可获得长使用寿命。附图说明图I是表示本专利技术的热处理装置的构成的一例的说明用剖视图。图2是图I的热处理装置中的卤素加热灯及筒状体的说明用俯视图。图3是表示现有的热处理装置的构成的说明用剖视图。具体实施例方式以下具体说明本专利技术。(热处理装置)图I是表示本专利技术的热处理装置的构成的一例的说明用剖视图，图2是本专利技术的热处理装置中的卤素加热灯及筒状体的说明用俯视图。本专利技术的热处理装置具有隔热筐体11 ;筒状体30、30，配置成插通到形成于隔热筐体11的上壁IlA的插入孔15、15 ;以及卤素加热灯20，具有由水平部21A及从其两端向垂直方向延伸的垂直部21B、21C构成的U字状的发光管21。该热处理装置，在多个、例如6个卤素加热灯20的水平部21A与隔热筐体11的上壁平行且与卤素加热灯20的发光管21的水平部21A垂直的方向(在图I中是和图纸垂直的方向)上并列设置而成的处理块，在与该隔热筐体11的上壁平行且与卤素加热灯20的发光管21的水平部21A垂直的方向上，并列设置广8块而构成。(隔热筐体)构成本专利技术的热处理装置的隔热筐体11由隔热材料构成，其内部形成加热工件W的热处理空间H。在隔热筐体11的相对的侧壁IlBUlC上，分别设置用于运送工件W的例如运入网带输送机等运送单元12的运入口 13、及将该运送单元12从热处理空间H运出的运出口 14。 作为构成隔热筐体11的隔热材料，只要是可使热处理空间H内的气氛温度保持恒定的具有隔热性的材料即可，例如可使用陶瓷、玻璃棉、硅酸钙、石棉、耐火隔热瓦等。形成于隔热筐体11的插入孔15、15例如是截面为正圆的圆柱状。该插入孔15、15的内径因筒状体30、30的外径而不同,例如是Φ25 Φ30πιπι。(筒状体)构成本专利技术的热处理装置的筒状体30、30例如是圆筒状的，配置在形成于隔热筐体11的上壁IlA的插入孔15、15，筒状体30、30的外周面可在与插入孔15、15的内周面接触的状态下配置，尤其优选配置成在该筒状体30、30的外周面和插入孔15、15的内周面之间存在间隙的状态下插通。具体而言，筒状体30、30在隔热筐体11上，通过从该隔热筐体11的上壁IlA向外延伸的保持件支撑臂37、37的凹处所放置并支撑的夹紧型筒状体保持件35、35夹紧，从而由该隔热筐体11支撑。筒状体30、30的外周面和插入孔15、15的内周面之间的间隙优选是环状空隙，该环状间隙是截面在整个圆周上具有平均厚度的圆环状。筒状体30、30的外周面和插入孔15、15的内周面之间的间隙大小、即环状空隙Rl的厚度优选是(TlOmm,进一步优选5 8mm。筒状体30、30的外周面和插入孔15、15的内周面之间的间隙大小处于上述范围，从而可使隔热筐体11内的温度维持恒定温度的同时，使该隔热筐体11内的热气流不滞留在该间隙地流通。并且，当该间隙大小过大时，难以将隔热筐体11内(热处理空间H)的温度维持为恒定温度。尤其是，当该间隙大小为5mm以上时，在该间隙中产生自然对流，可切实使该隔热筐体11内的热气流不滞留在该间隙地流通。筒状体30、30优选配置成其上部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卤素加热灯单元，其特征在于具有：卤素加热灯，该卤素加热灯具有由水平部及从该水平部两端向垂直方向延伸的垂直部构成的U字状的发光管，在发光管内的至少水平部配置有灯丝；以及筒状体，该筒状体配置成在该卤素加热灯的各垂直部的周围与该垂直部的外周面之间存在间隙。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小田垣徹，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：