【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超高压灯。
技术介绍
1、已知有在发光管封入了高压的气体的超高压灯。作为超高压灯之一，近年来，存在作为在半导体、液晶基板及滤色器等的检查工序中使用的紫外线光源而使用的激光维持等离子体(lsp：laser sustained plasma)灯(专利文献1参照)。lsp灯从发光管的外部朝向发光管的内部照射激发激光，将处于发光管的内部的靶等离子体化。在发光管的内部封入有超高压的发光气体。利用与等离子体同时放射的、高辉度且宽波段的光。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：国际公开第2007/120521号
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、由市场要求着超高压灯的高辉度化及长寿命化。为了响应市场的要求，需要进一步提高超高压灯的耐压强度。因此，目的在于提供提高了耐压强度的超高压灯。
3、用于解决课题的手段
4、本专利技术人发现了：超高压灯的耐压不均一，尤其是，耐压低的部位存在于密封部。因此，想出了使耐压强度提高的密封部的形状。
5、本专利技术的超高压灯具备：
6、发光管；及
7、将排气管的前端密封而得到的密封部，所述排气管能够将所述发光管内排气或者向所述发光管内供给气体，
8、在所述密封部中，越去往所述密封部的前端则越细的锥状的第一密封空间的高度h1比所述第一密封空间的内径d1的2倍大。
9、“超高压灯”是指对发光管的内部施加
10、“密封部”是在灯的制造时安装于灯的排气管的痕迹。密封部的形成方法后述。
11、可以是所述第一密封空间的前端未分支的形状。在是所述密封空间的前端未分支的形状的情况下，灯的耐压提高。
12、可以是，具备所述第一密封空间的前端分支而形成的第一分支和第二分支，
13、所述第一分支的前端与所述第二分支的前端的间隔为1.5mm以下。在所述第一分支的前端与所述第二分支的前端的间隔为1.5mm以下的情况下，灯的耐压提高。
14、可以是，所述第一分支的前端与所述第二分支的前端的间隔比所述第一分支的根部与所述第二分支的根部的间隔短。由于所述第一分支的前端与所述第二分支的前端的间隔变窄，所以灯的耐压提高。
15、可以是，所述第一分支和所述第二分支成对地扭转。若成对地扭转，则所述第一分支的前端与所述第二分支的前端的间隔变窄，灯的耐压提高。
16、可以是，所述密封部的外径d2为所述密封部的内径d1的3倍以上。所述密封部的厚度变厚，灯的耐压提高。
17、可以是，具备分别连接于所述发光管且夹着所述发光管而互相对向配置的两个侧管，
18、所述密封部设置于所述两个侧管的任一方的曲面或内部。
19、可以是，具备分别连接于所述发光管且夹着所述发光管而互相对向配置的两个侧管，
20、在所述两个侧管的内部分别配置有电极，
21、所述密封部设置于所述发光管，或者也可以设置于所述两个侧管的任一方的曲面。
22、所述超高压灯可以是激光维持等离子体灯。
23、专利技术效果
24、由此，能够提供提高了耐压强度的超高压灯。
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1.一种超高压灯，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的超高压灯，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的超高压灯，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的超高压灯，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的超高压灯，其特征在于，
6.根据权利要求1～5中任一项所述的超高压灯，其特征在于，
7.根据权利要求1～5中任一项所述的超高压灯，其特征在于，
8.根据权利要求1～5中任一项所述的超高压灯，其特征在于，
9.根据权利要求1～5中任一项所述的超高压灯，其特征在于，
10.根据权利要求1～5中任一项所述的超高压灯，其特征在于，
11.根据权利要求1～5中任一项所述的超高压灯，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种超高压灯，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的超高压灯，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的超高压灯，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的超高压灯，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的超高压灯，其特征在于，
6.根据权利要求1～5中任一项所述的超高压灯，其特征在于，
...【专利技术属性】
技术研发人员：森和之，平石隆之，朝山淳哉，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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