【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及准分子灯，特别涉及在放电容器中掺杂了氟的准分子灯。
技术介绍
1、发出紫外线的准分子灯在由石英玻璃构成的放电容器中封入有规定的发光气体。
2、当准分子灯持续点亮时，放电空间内产生的紫外线在透过形成放电容器的石英玻璃时使石英玻璃产生变形，有时会导致玻璃的破损。特别是，这种问题在发出峰值波长为200nm以下的短波段的紫外线(也称为真空紫外线。)的准分子灯中显著地出现。
3、另外，即使在玻璃本身不至于破损的情况下，由于石英玻璃吸收紫外线，构成石英玻璃的分子本身也会产生结构缺陷，该缺陷会使紫外线的吸收量增加。其结果，放电容器自身的透过率降低，有时会导致照度的降低。
4、鉴于这种情况，在准分子灯的放电容器中，重要的是尽量抑制紫外线变形，到目前为止也提出了几个技术。
5、作为在石英玻璃中产生紫外线的吸收带的原因之一，为石英玻璃中的不稳定结构，更详细地说，可列举出三元环结构、四元环结构。这些不稳定结构与正常结构相比，结合能弱，因此不稳定结构越多，紫外线的透过率越低。
6、已知该不稳定结构取决于石英玻璃的虚拟温度，越是降低虚拟温度，越能降低不稳定结构的产生量。作为改变石英玻璃的虚拟温度的手段，已知有在炉内进行热处理的方法。为了降低石英玻璃的虚拟温度，可以通过在低温下进行热处理来实现。然而，在期望的虚拟温度较低的情况下，往往需要长时间的热处理。从工业生产准分子灯的观点出发，热处理达到极长时间的情况是不优选的。例如，若将虚拟时间设为500℃左右，则热处理时间有可能达到1个月以
7、还已知当在石英玻璃中含有氟(f)时生成si-f键，由此具有缓和上述不稳定结构的作用。即，通过在石英玻璃中导入氟，能够在相对缩短热处理的时间的同时，降低不稳定结构的产生量。
8、本申请人在过去提出了将氟含量为7000wt.ppm～30000wt.ppm、虚拟温度为750℃～1000℃的合成石英玻璃作为放电容器的准分子灯(参照专利文献1)。
9、现有技术文献
10、专利文献
11、专利文献1：日本特开2008—192351号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、本专利技术人进行了深入研究，结果新发现，若长时间点亮将含有氟的石英玻璃作为放电容器的准分子灯，则照度会根据放电容器的场所而产生偏差。换言之，本专利技术人新发现，在将含有氟的石英玻璃作为放电容器的准分子灯中，照度维持率会根据放电容器的场所而产生偏差。
3、本专利技术鉴于上述课题，其目的在于提供一种准分子灯，该准分子灯抑制了对放电容器的紫外线变形和与放电容器的场所对应的照度维持率的偏差这两者。
4、用来解决课题的手段
5、本专利技术的准分子灯，其特征在于，具备：
6、长条形的放电容器，包含掺杂有氟的石英玻璃，并在内部封入有发光气体；以及
7、一对电极，对所述放电容器的内部施加放电电压，
8、所述放电容器在有效发光区域内，由长度方向上的一对端部部位、和将所述一对端部部位之间的区域在所述长度方向上实质上均等地分割规定数量而得到的多个中间部位构成的各测定部位的虚拟温度t[℃]，在将各测定部位的虚拟温度t[℃]的中间值设为ta[℃]时，满足以下的(1)式及(2)式。
9、900≤ta≤1000…(1)
10、-924.7+1.9×ta≤t≤924.7+0.1×ta…(2)
11、通过本专利技术人的深入研究，查明了照度维持率根据放电容器的场所而产生偏差的理由是，在制造过程中，伴随着放电容器的虚拟温度产生偏差而产生的。
12、如上述那样，准分子灯在放电空间内产生的紫外线透过形成放电容器的石英玻璃时，存在使石英玻璃产生变形的问题。已知在准分子灯制造时，通过减慢冷却速度而使石英玻璃的虚拟温度降低，能够解决该问题。
13、然而，上述方法在制造工业用途的准分子灯时，存在制造时间过长的其他问题。因此，从在使冷却速度相对较快的同时使石英玻璃的虚拟温度容易降低的观点出发，如上述专利文献1所记载的那样，开发了将掺杂有氟的石英玻璃用作放电容器的方法。
14、但是，一边加快冷却速度一边冷却石英玻璃，容易使石英玻璃的虚拟温度不均匀。即，通过掺杂氟，在相同的冷却时间下石英玻璃的虚拟温度容易降低，但另一方面，在制造后的放电容器中，每个场所的虚拟温度容易产生偏差这一其他问题变得显著。
15、特别是，在准分子灯具备长条形放电容器的情况下，根据长度方向的位置虚拟温度容易产生偏差。该虚拟温度的偏差诱发长时间点亮后的每个场所的照度维持率的偏差。即，由于长时间的点亮，根据放电容器的场所，亮度容易产生偏差。该问题尤其在具备长度方向上的长度超过1m那样的放电容器的准分子灯中显著。
16、准分子灯主要用于工业用途。例如，通过封入主要成分由xe构成的发光气体，准分子灯成为峰值波长在172nm附近的真空紫外光源。这种光源例如用于晶圆的表面改性或清洗的用途。此时，若由于长时间的点亮而在放电容器的每个场所产生亮度偏差，则可以预想到处理对象物的处理程度在每个场所产生偏差等的影响。
17、因此，在准分子灯中，存在无论放电容器内的场所如何，都希望尽量抑制照度维持率的偏差的情况。然而，若要抑制作为照度维持率的偏差的原因之一的虚拟温度的偏差，则需要使冷却速度极慢，如上所述鉴于工业生产，难以采用该方法。
18、与此相对，根据满足上述(1)式及(2)式那样的准分子灯，能够在一定程度上容许虚拟温度的偏差的同时抑制照度维持率的偏差。因而，不会大幅延长准分子灯的制造所需的时间，能够抑制长时间点亮后的亮度偏差。详细情况将在后面的“具体实施方式”部分中进行描述。
19、所述准分子灯也可以是，各测定部位的所述虚拟温度t中的最大值与最小值相差10℃以上。
20、专利技术效果
21、根据本专利技术，能够在不导致生产节拍的大幅增加的情况下，实现抑制了对放电容器的紫外线变形和与放电容器的场所对应的照度维持率的偏差这两者的准分子灯。
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1.一种准分子灯，其特征在于，具备：
2.如权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，
3.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种准分子灯，其特征在于，具备：
2.如权利要求1所述的准分子...
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