一种组合式石英玻璃加热腔制造技术

本发明专利技术属于太阳能光伏领域硅片处理用气氛保护组合式石英玻璃加热腔。具体公开组合式石英玻璃加热腔，包括带有用于放置待加热的颗粒硅带及硅片的可拆卸的透明石英玻璃腔体，透明石英玻璃腔体上设有若干用于聚焦光线、内表面为部分圆柱面的圆柱状石英玻璃覆盖件，圆柱状石英玻璃覆盖件对应置放于聚焦型加热设备的光线聚焦区，且其中心线与聚焦型加热设备的线聚焦位置重合。该组合式石英玻璃加热腔结构简化，便于制作、打磨和抛光，使用过程中腔体内部粘附的灰尘容易擦拭清除，加热过程产生聚焦加热区腔体内表面硅蒸发凝结便于清除，安全性提高，维护方便、维护成本低；此外其热利用率大大提高，能耗较少，同时使用寿命大大延长，减少昂贵的高纯石英玻璃使用量，降低使用成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种组合式石英玻璃加热腔，其特征在于：包括带有用于放置待加热的颗粒硅带及硅片的可拆卸的透明石英玻璃腔体，所述透明石英玻璃腔体上设有若干用于聚焦光线、内表面为部分圆柱面的圆柱状石英玻璃覆盖件，所述圆柱状石英玻璃覆盖件对应置放于聚焦型加热设备的光线聚焦区，且所述圆柱状石英玻璃覆盖件的中心线与聚焦型加热设备的线聚焦位置重合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘庆才，沈辉，白路，
申请(专利权)人：中山大学，
类型：发明
国别省市：