一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法技术

本发明专利技术提出一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法，首先，分别在低速段和高速段进行调试，获得低速段适用的高刚度、高阻尼的控制参数和高速段适用的低刚度、低阻尼的控制参数，然后设置切换转速。当分子泵运行时，先调用高刚度、高阻尼的控制参数来克服低速段电机磁钢磁偏拉力对于转子悬浮稳定性的影响，当转子达到高速段时采用低刚度、低阻尼的策略克服其他转子悬浮稳定性影响。本发明专利技术所述的一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法，解决了现有技术中分子泵运行时存在电机磁钢磁偏拉力的技术问题，可以很好抑制磁悬浮分子泵升速过程中的非线性因素，保证分子泵稳定运行。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）对磁悬浮分子泵进行低速段调试试验，结合电机磁钢磁偏拉力对转子的影响，设计低速段适用的高刚度、高阻尼的控制参数，并将所述控制参数和适用的转速段信息存储在磁悬浮分子泵控制器内的存储介质中；（2）对所述磁悬浮分子泵进行高速段调试试验，获得高速段适用的低刚度、低阻尼的控制参数，将所述控制参数以及其适用的转速段信息存储在所述磁悬浮分子泵控制器内的存储介质中；（3）设置切换转速，并将其存储在所述磁悬浮分子泵控制器内的存储介质中；（4）当所述磁悬浮分子泵上电后，所述磁悬浮分子泵控制器首先调用所述高刚度、高阻尼的控制参数，使所述转子稳定悬浮在保护轴承中心处，然后启动所述磁悬浮分子泵电机，使得所述转子升速，同时检测转子转速；（5）当检测到所述转子的转速超过切换转速后，所述磁悬浮分子泵控制器调用所述低刚度、低阻尼的控制参数实现转子悬浮，使得所述转子在高速段稳定运行；（6）当所述磁悬浮分子泵需要停机时，当所述磁悬浮分子泵控制器检测到所述转子的转速降至低于切换转速时，则调用所述高刚度、高阻尼的控制参数实现转子悬浮控制，使得转子在低速段稳定运行，所述转子平稳降速到零。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张剀，武涵，李奇志，张小章，邹蒙，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，清华大学，
类型：发明
国别省市：