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本发明提出一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法，首先，分别在低速段和高速段进行调试，获得低速段适用的高刚度、高阻尼的控制参数和高速段适用的低刚度、低阻尼的控制参数，然后设置切换转速。当分子泵运行时，先调用高刚度、高阻尼的控制参数来克服低速段电机...
该专利属于北京中科科仪股份有限公司;清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科科仪股份有限公司;清华大学授权不得商用。

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