连续式车灯玻璃镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种连续式车灯玻璃镀膜装置，包括呈直连续式排列的多个真空室，任意相邻的两个真空室之间设有通孔，第一个真空室为进片室，最后一个真空室为出片室，进片室和出片室之间设有镀膜室；进片室的进片口处设有第一真空锁，出片室的出片口处设有第二真空锁。本连续式车灯玻璃镀膜装置呈直连续式，可根据工艺的实际需要增加或减少真空室个数，使用方便，工件在加工过程中呈直线状输送，且工件进片和出片时均不需要打开真空室，可较好地保持装置内的真空气氛，避免因真空气氛被破坏所引起的产品质量问题；本连续式车灯玻璃镀膜装置的镀膜室中采用圆柱靶作为镀膜靶材，可实现工件表面均匀镀膜，提高产品质量。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及车灯玻璃镀膜
，特别涉及一种连续式车灯玻璃镀膜装置。
技术介绍
目前常用于车灯玻璃镀膜的装置一般为单真空室设备，通过在真空室内设置靶材，靶材设于真空室中部，靶材周围分布多个エ件并同时进行镀膜，エ件的整个镀膜エ艺均在该真空室内完成。该设备在实际生产应用中存在以下缺陷(I)由于エ件的整个镀膜エ艺均在同一真空室内完成，使得该真空室结构复杂，设备维护成本相当高；(2)该设备只设有ー个真空室，当エ件加工完成后，必须打开真空室才能更换エ件，这就容易整个镀膜エ艺的真空气氛，影响后续镀膜エ艺的正常进行，也容易影响产品质量；同时，该真空室内无法完成エ件表面的清洁即沉积等エ艺，对エ件的表面处理工艺必须采用其它专用设备完成，这就加大了エ艺的复杂性，エ件的表面质量也难以得到较好的控制。(3)传统的单真空室设备中采用平面靶作为镀膜靶材，由于平面靶使用时其原理是磁铁固定不动，靶材旋转，所以在镀膜时靶材周围所产生的磁场固定不变，而作为エ件的车灯玻璃带有弧形面，这就容易引起工件表面镀膜不均为的现象。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种维护成本较低、真空度容易控制的连续式车灯玻璃镀膜装置。本技术的技术方案为一种连续式车灯玻璃镀膜装置，包括呈直连续式排列的多个真空室，任意相邻的两个真空室之间设有通孔，第一个真空室为进片室，最后ー个真空室为出片室，进片室和出片室之间设有镀膜室；进片室的进片口处设有第一真空锁，出片室的出片口处设有第二真空锁。所述进片室的进片口外侧设有进片架，出片室的出片口外侧设有出片架。所述多个真空室还包括前处理室、过渡室、缓冲室和后处理室，按照エ件的输送方向，进片室、前处理室、过渡室、镀膜室、缓冲室、后处理室和出片室依次设置。所述进片室与前处理室之间的通孔处设有第三真空锁，前处理室与过渡室之间的通孔处设有第四真空锁，缓冲室与后处理室之间的通孔处设有第五真空锁，后处理室与出片室之间的通孔处设有第六真空锁。所述第一真空锁、第二真空锁、第三真空锁、第四真空锁、第五真空锁和第六真空锁的结构相同。所述镀膜室内设有多个圆柱靶，多个圆柱靶并排设于镀膜室内的ー侧边上。所述圆柱靶为外转内摆型的磁控溅射靶，包括摆动磁芯和转动靶材，摆动磁芯和转动靶材均为圆柱形结构，摆动磁芯设于转动靶材中部，转动靶材外周通过靶座与真空室壳体连接；转动靶材顶部设有靶材驱动组件，摆动磁芯顶部设有磁芯驱动组件。其中，磁芯驱动组件的结构可为多种结构形式，主要有(I)所述磁芯驱动组件包括摆动气缸、摆动齿条和摆动齿轮，摆动气缸末端通过摆动齿条与摆动齿轮连接，摆动齿轮设于摆动磁芯的顶端。(2)所述磁芯驱动组件包括摆动电机、摆动电机齿轮和摆动齿轮，摆动电机的输出端通过摆动电机齿轮与摆动齿轮连接，摆动齿轮设于摆动磁芯的顶端。所述靶材驱动组件包括转动电机、转动电机齿轮和转动齿轮，转动电机的输出端通过转动电机齿轮与转动齿轮连接，转动齿轮设于转动靶材的顶端。本连续式车灯玻璃镀膜装置使用时，其エ艺原理是进片架将エ件从进片室的进 片口送入进片室，进片室是低真空室，作为大气到真空的过渡；接着工件被送入前处理室进行表面清洁处理，然后经过过渡室后送入镀膜室进行镀膜；镀膜完成后，エ件经过缓冲室后送入后处理室进行表面沉积处理，使エ件表面膜层更为结实，最后送入出片室，在出片室的出片口处由出片架将其取出。其中过渡室和缓冲室分别作为镀膜室前后的过渡室，对エ件的前后加工其缓冲作用。本技术相对于现有技术，具有以下有益效果本连续式车灯玻璃镀膜装置呈直连续式，可根据エ艺的实际需要増加或減少真空室个数，使用方便，エ件在加工过程中呈直线状输送，且エ件进片和出片时均不需要打开真空室，可较好地保持装置内的真空气氛，避免因真空气氛被破坏所引起的产品质量问题。另夕卜，可在エ件镀膜前增设离子轰击处理，从而提高工件表面的清洁度，提高产品质量，在エ件镀膜后增设离子轰击处理，可使エ件表面的膜层更为结实，不易被氧化。本连续式车灯玻璃镀膜装置采用多个真空室直线排列设置，并且在多处相邻真空室的通孔处设置真空锁，该真空锁采用传统结构形式的真空锁即可，当需要进行设备维护时，只要将相应的真空锁锁上，即可针对当真空室进行单独维护，其维护成本低，操作也简单。本连续式车灯玻璃镀膜装置的镀膜室中采用圆柱靶作为镀膜靶材，可实现エ件表面均匀镀膜，提高产品质量。附图说明图I为本连续式车灯镀膜装置的结构示意图。图2为图I的A向视图。图3为实施例I中单个圆柱靶的结构示意图。图4为实施例2中单个圆柱靶的结构示意图。具体实施方式下面结合实施例及附图，对本技术作进ー步的详细说明，但本技术的实施方式不限于此。实施例I本实施例一种连续式车灯玻璃镀膜装置，其结构如图I或图2所示，包括呈直连续式排列的多个真空室，任意相邻的两个真空室之间设有通孔，第一个真空室为进片室1，最后ー个真空室为出片室7，进片室I和出片室7之间设有镀膜室4 ;进片室的进片口处设有第一真空锁10，出片室的出片口处设有第二真空锁15。进片室I的进片口外侧设有进片架8，出片室7的出片口外侧设有出片架9。多个真空室还包括前处理室2、过渡室3、缓冲室5和后处理室6，按照エ件的输送方向，进片室I、前处理室2、过渡室3、镀膜室4、缓冲室5、后处理室6和出片室7依次设置。 进片室I与前处理室2之间的通孔处设有第三真空锁11，前处理室2与过渡室3之间的通孔处设有第四真空锁12，缓冲室5与后处理室6之间的通孔处设有第五真空锁13，后处理室6与出片室7之间的通孔处设有第六真空锁14。第一真空锁10、第二真空锁15、第三真空锁11、第四真空锁12、第五真空锁13和第六真空锁14的结构相同。各真空锁均采用传统结构形式的真空锁即可。镀膜室内设有多个圆柱靶16，多个圆柱靶并排设于镀膜室内的ー侧边上。本实施例中圆柱靶的个数为4个，各圆柱靶上带有单独的驱动电机。单个圆柱靶的具体结构如图3所示，为外转内摆型的磁控溅射靶，包括摆动磁芯17和转动靶材18，摆动磁芯和转动靶材均为圆柱形结构，摆动磁芯设于转动靶材中部，转动靶材外周通过靶座19与真空室壳体20连接；转动靶材顶部设有靶材驱动组件，摆动磁芯顶部设有磁芯驱动组件。磁芯驱动组件包括摆动气缸21、摆动齿条22和摆动齿轮23，摆动气缸末端通过摆动齿条与摆动齿轮连接，摆动齿轮23设于摆动磁芯17的顶端。靶材驱动组件包括转动电机24、转动电机齿轮25和转动齿轮26，转动电机的输出端通过转动电机齿轮与转动齿轮连接，转动齿轮26设于转动靶材18的顶端。本连续式车灯玻璃镀膜装置使用时，其エ艺原理是进片架8将エ件从进片室的进片口送入进片室1，进片室是低真空室，作为大气到真空的过渡；接着工件被送入第一等离子轰击处理室2进行表面清洁处理，然后经过过渡室3后送入镀膜室4进行镀膜；镀膜完成后，エ件经过缓冲室5后送入后处理室6进行表面沉积处理，使エ件表面膜层更为结实，最后送入出片室7，在出片室的出片口处由出片架9将其取出。其中过渡室和缓冲室分别作为镀膜室前后的过渡室，对エ件的前后加工其缓冲作用。实施例2本实施例一种连续式车灯玻璃镀膜装置，与实施例I相比较，其不同之处在干，圆柱靶的磁芯驱动组件结构形式不同，圆柱靶的具体结构如4所示，其中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.连续式车灯玻璃镀膜装置，其特征在于，包括呈直连续式排列的多个真空室，任意相邻的两个真空室之间设有通孔，第一个真空室为进片室，最后ー个真空室为出片室，进片室和出片室之间设有镀膜室；进片室的进片口处设有第一真空锁，出片室的出片口处设有第ニ真空锁。2.根据权利要求I所述的连续式车灯玻璃镀膜装置，其特征在于，所述进片室的进片口外侧设有进片架，出片室的出片口外侧设有出片架。3.根据权利要求I所述的连续式车灯玻璃镀膜装置，其特征在于，所述多个真空室还包括前处理室、过渡室、缓冲室和后处理室，按照エ件的输送方向，进片室、前处理室、过渡室、镀膜室、缓冲室、后处理室和出片室依次设置。4.根据权利要求3所述的连续式车灯玻璃镀膜装置，其特征在干，所述进片室与前处理室之间的通孔处设有第三真空锁，前处理室与过渡室之间的通孔处设有第四真空锁，缓 冲室与后处理室之间的通孔处设有第五真空锁，后处理室与出片室之间的通孔处设有第六真空锁。5.根据权利要求4所述的连续式车灯玻璃镀膜装置，其特征在于，所述第一真空锁、第ニ真空锁、第三真空锁、第四真空锁、第五真空锁和第六真空锁的结构相同。...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱刚劲，朱刚毅，朱文廓，
申请(专利权)人：肇庆市腾胜真空技术工程有限公司，
类型：实用新型
国别省市：