一种玻璃溅射室阳极馈路组合连接件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，包括阳极端子、电源端子、第一螺母、第二螺母、固定板、第三螺母；所述阳极端子的两端设置有螺纹，并与第一螺母和第二螺母相适配；所述电源端子的一端设置有螺纹孔，螺纹孔与阳极端子的螺纹相适配；所述电源端子的另一端设置有螺纹，并与第三螺母相适配；所述固定板固定设置在电源端子的螺纹孔端。利用本实用新型专利技术可在更换阳极板时将阳极端子拆卸下来，避免了对电源端子的密封性能的影响。电源端子的固定板上还设置有定位孔，更有利于电源端子和溅射室室壁连接的稳定，确保了其密封效果。本组合连接件由两部分构成，降低了对制作材料的尺寸要求，节约了制作成本。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种玻璃溅射室阳极馈路连接件，尤其涉及的是一种玻璃溅射室阳极馈路组合连接件。
技术介绍
在玻璃镀膜生产线上的玻璃溅射室内需要用到一种阳极馈路连接件，现有阳极馈路连接件的结构如图I所示，包括连 接杆I、密封套2、密封塞3、螺母4和密封垫片5。连接杆I的两端都设置有螺纹，螺母4和密封垫片5设置在连接杆I的一端，将连接杆I固定在溅射室的室壁上，密封垫片5的作用在于防止外界气体泄漏到溅射室内。密封套2套在连接杆I上并顶住溅射室的室壁，密封塞3中间设置有孔，孔径大小与连接杆截面直径一样，密封圈3套住连接杆I并塞入密封套2中，密封塞3的外径与密封套2的内径一样，密封套2和密封塞3的作用也在于防止空气泄漏到溅射室内。连接杆I的另一螺纹端连接阳极板。现有的这种阳极馈路连接件存在着以下缺陷(1)，密封塞3在溅射室高温环境及磁场的作用下老化速度非常快，很容易产生密封塞3与密封套2之间密封不严的问题。(2)，密封位置多，一旦发生漏气现象则需要对所有密封部位进行检查，工序非常繁琐。(3)，该连接件的连接杆I为一体设置，其材质为铜，制作时必须使用大块铜柱才行，所以其制作成本也高。(4)，由于其连接杆I为一体设置，所以在更换阳极板时，难免会因操作碰撞而引起连接杆挪位而漏气。因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，以解决上述现有技术中玻璃溅射室阳极馈路连接件易漏气且制作及检修成本高的技术问题。本技术的技术方案如下一种玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，包括阳极端子、电源端子、第一螺母、第二螺母、固定板、第三螺母；所述阳极端子的两端设置有螺纹，并与第一螺母和第二螺母相适配；所述电源端子的一端设置有螺纹孔，螺纹孔与阳极端子的螺纹相适配；所述电源端子的另一端设置有螺纹，并与第三螺母相适配；所述固定板固定设置在电源端子的螺纹孔端。所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其中，所述固定板与电源端子一体设置。所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其中，所述固定板上还设置有定位孔。所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其中，所述定位孔的数量为三个，且定位孔之间的连线为等边三角形。所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其中，所述固定板为六边形状。所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其中，所述第三螺母为六边形状。所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其中，所述固定板靠电源端子的螺纹的一侧还设置有密封圏。本技术通过将溅射室的阳极馈路连接件设置为组合形式，分别为电源端子和阳极端子，电源端子和阳极端子螺纹连接，整个溅射室的阳极馈路组合连接件通过电源端子固定在溅射室的室壁上。电源端子用于连接外部电源，阳极端子用于连接溅射室内的阳极板。该组合式连接件，与溅射室室壁只有ー个密封位置，便于检查和维修。该组合式连接件分成两个部分，在更换阳极板时可以将阳极端子拆卸下来，避免了对电源端子的密封性能的影响。最后电源端子的固定板上还设置有定位孔，更有利于电源端子和溅射室室壁连接的稳定，确保了其密封效果。两部分的结构，降低了其对制作材料的尺寸要求，节约了生产成本。附图说明图I是现有技术中玻璃溅射室阳极馈路连接件的整体示意图。图2是本技术中玻璃溅射室阳极馈路组合连接件的分解示意图。图3是本技术中玻璃溅射室阳极馈路组合连接件的整体示意图。图4是本技术中玻璃溅射室阳极馈路组合连接件的斜向俯瞰图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下參照附图并举实施例对本技术进ー步详细说明。如图2本技术中玻璃溅射室阳极馈路组合连接件的分解示意图所示，包括阳极端子6、电源端子7、第一螺母8、第二螺母9、固定板10、第三螺母11。阳极端子6和电源端子7都为铜柱结构。阳极端子6的两端都设置有螺纹，第一螺母8和第二螺母9分别拧在阳极端子6两端的螺纹上，用以固定玻璃溅射室中的阳极板。电源端子7的一端设置有螺纹孔12，螺纹孔12与阳极端子6上的螺纹相适配。固定板10设置在电源端子7的靠螺纹孔12的一端，固定板10与电源端子7—体设置。电源端子7的另一端设置有螺纹，第三螺母11拧到电源端子7的螺纹上，与固定板10 —起将整个组合连接件固定在溅射室的室壁上。固定板10上还设置有定位孔13，其作用在于可通过ー个螺丝穿过定位孔13将固定板10固定在溅射室的室壁上，防止在拆卸阳极端子6的时候带动电源端子7转动，进而影响其密封性能。定位孔13的数量还可以为3个，成等边三角形设置，可进ー步提高固定板10的稳定性。如图3本技术中玻璃溅射室阳极馈路组合连接件的整体示意图所示，阳极端子6的一端拧入电源端子7上的螺纹孔12中，将阳极端6和电源端子7连接起来。阳极端子6用来连接溅射室内的阳极板，电源端子7用来连接外部电源。如图4本技术中玻璃溅射室阳极馈路组合连接件的斜向俯瞰图所示，在电源端子7上的固定板10上还设置有凹槽(图中未示出)，密封圈14为以橡胶圈，固定在凹槽内。在电源端子7固定到玻璃溅射室的室壁上时，拧紧第三螺母11，使密封圈14紧贴玻璃溅射室的室壁以对玻璃溅射室进行密封。此即本技术提供的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件的唯一个密封位置。由上述实施例可以看出，本组合连接件包括两个部分，分别为电源端子7和阳极端子6，电源端子7和阳极端子6螺纹连接，整个溅射室的阳极馈路组合连接件通过电源端子7固定在溅射室的室壁上。电源端子7用于连接外部电源，阳极端子6用于连接溅射室内的阳极板。该组合式连接件，与溅射室室壁只有一个密封位置，便于检查和维修。该组合式连接件分成两个部分，在更换阳极板时可以将阳极端子6拆卸下来，避免了对电源端子的密封性能的影响。最后电源端子的固定板10上还设置有定位孔13，更有利于电源端子7和溅射室室壁连接的稳定，确保了其密封效果。两部分的结构，降低了其对制作材料的尺寸要求,节约了生产成 本。应当理解的是，本技术的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，固定板10可设置为环状，也可设置为多边形状；第三螺母11也可设置为环状或多边形状等，所有这些改进和变换都应属于本技术所附权利要求的保护范围。权利要求1.ー种玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其特征在于，包括阳极端子、电源端子、第一螺母、第二螺母、固定板、第三螺母；所述阳极端子的两端设置有螺纹，并与第一螺母和第二螺母相适配；所述电源端子的一端设置有螺纹孔，螺纹孔与阳极端子的螺纹相适配；所述电源端子的另一端设置有螺纹，并与第三螺母相适配；所述固定板固定设置在电源端子的螺纹孔端。2.根据权利要求I所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其特征在于，所述固定板与电源端子一体设置。3.根据权利要求I所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其特征在于，所述固定板上还设置有定位孔。4.根据权利要求3所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其特征在于，所述定位孔的数量为三个，且定位孔之间的连线为等边三角形。5.根据权利要求I所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其特征在于，所述固定板为六边形状。6.根据权利要求I所述的玻璃溅射室阳极馈路组合连接件，其特征在于，所述第三螺母为六边形状。7.根据权利要求I所述的玻璃本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张建，
申请(专利权)人：佛山市中南罗森玻璃有限公司，
类型：实用新型
国别省市：