【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种长玻璃柱体阳极键合的加热加电装置，其包括自适应压头（１）、加热台（４）、集成于加热台（４）内的加热管（９）、设于加热台（４）上的加热块（２）、安装于加热块（２）上的陶瓷块（３）、底座（６）以及安装于底座（６）上的气缸（５），所述自适应压头（１）包括连杆（１１）、与连杆（１１）连接的绝缘块（１２）、与绝缘块（１２）连接的压头座（１４）、安装在压头座（１４）内的压头（１３）、安装在压头座（１４）上的玻璃柱加电簧片（１５）、与玻璃柱加电簧片（１５）接触的玻璃柱（１６）、安装在绝缘块（１２）上的硅片加电簧片（１８）以及与硅片加电簧片（１８）接触的硅片（１７），所述自适应压头（１）通过连杆（１１）与气缸（５）连接，其特征在于：所述玻璃柱加电簧片（１５）包括两个，该两个玻璃柱加电簧片（１５）分别夹紧于玻璃柱（１６）的两侧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈涛，陈立国，潘明强，王振华，孙荣川，严琴，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：32
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