长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置，其包括自适应压头、加热台、集成于加热台内的加热管、设于加热台上的加热块、安装于加热块上的陶瓷块、底座以及安装于底座上的气缸，所述自适应压头包括连杆、与连杆连接的绝缘块、压头座、安装在压头座内的压头、安装在压头座上的玻璃柱加电簧片、安装在绝缘块上的硅片加电簧片，所述自适应压头通过连杆与气缸连接，所述玻璃柱加电簧片包括两个，该两个玻璃柱加电簧片分别夹紧于玻璃柱的两侧。本实用新型专利技术采用从玻璃柱的两侧夹紧进行加电的方式，不但可以保证加电效果，大大提高键合效率，而且在玻璃柱很长的情况下，可以缩短键合时间，便于调整加电高度。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈涛，陈立国，潘明强，王振华，孙荣川，严琴，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：实用新型
国别省市：