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一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备制造技术

技术编号:9004012 阅读:179 留言:0更新日期:2013-08-07 19:32
本发明专利技术公开了一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备,包括机壳、控制系统与键合系统,键合系统包括至少一个键合炉、与键合炉对应设置的键合模块、带动键合炉与键合模块移动调整的驱动机构、识别键合元件所在位置的检测机构、将键合元件逐个输送至所述键合炉上进行键合处理的上料机构;通过设置检测机构、上料机构与键合炉、键合模块配合作用,实现了自动化识别、自动化键合的目的,通过将正、负电极弹片上下设置,在下压气缸下行的过程中逐步的将长玻璃柱体压紧固定于硅片上,正、负电极弹片分别与硅片、长玻璃柱体相接触,实现长玻璃柱体型传感器的批量生产,键合过程通过控制系统全自动控制,提高键合精度与生产效率,降低键合成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备,用于键合元件硅片与长玻璃柱体的键合,该设备包括机壳、控制系统与键合系统,其特征在于,所述键合系统包括至少一个键合炉、与所述键合炉对应设置的键合模块、带动所述键合炉与所述键合模块移动调整其水平位置的驱动机构、识别键合元件所在位置的检测机构、将键合元件逐个输送至所述键合炉上进行键合处理的上料机构;所述键合炉一侧设置有放置键合成品的料盒,以及将硅片与长玻璃柱体依次均匀排布的分片格,所述分片格位于所述检测机构的下方,所述料盒与所述分片格随所述键合炉同步移动;所述键合模块包括下压气缸、水平设置于所述下压气缸上的绝缘杆、位于所述绝缘杆前端的托架;所述托架上设置有用于压紧固定键合元件的压头,所述托架的至少一侧设置有负电极弹片,所述绝缘杆下端设置有正电极弹片,所述正电极弹片与硅片接触,所述负电极弹片与长玻璃柱体接触,所述负电极弹片高于所述正电极弹片设置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈涛孙立宁刘吉柱潘明强王阳俊陈立国刘锦勇
申请(专利权)人:苏州大学
类型:发明
国别省市:

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