一种带有挡板的靶位溅射室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有挡板的靶位溅射室，其包括设置在靶位溅射室内的靶材，还包括设置在所述靶位溅射室两侧侧壁上的第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板的长度分别延伸至其所在侧的靶材边缘的切线处，所述靶材位于第一挡板和第二挡板之间连线的正上方。采用本实用新型专利技术可有效的阻止靶材向其正对区域以外的玻璃溅射的靶材粒子，防止因靶材粒子远距离溅射而致使镀膜效果不佳的问题。同时还可利用挡板回收靶材粒子，以节约成本。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种玻璃镀膜仓的溅射室，尤其涉及的是一种带有挡板的靶位溅射室。
技术介绍
在玻璃镀膜的过程中，玻璃镀膜仓靶位溅射室中靶材上的靶材粒子在磁电的作用下以一定的速度镀到玻璃表面，在这个过程中必须达到靶材粒子的动能最大化才能保证镀膜的色差和膜层的牢固度。在靶位溅射室中，靶材的面积要小于处于靶位溅射室内的玻璃的面积，所以在与靶材正对的区域以外的玻璃，靶材粒子溅射到其表面的距离就比较远，靶材粒子到达其表面的动能就比较小，不能达到靶材粒子最大化的要求。由于靶材粒子远距离溅射致使其动能不足，所以其镀到与靶材正对的区域以外的玻璃表面上的镀膜效果会出现色差不均、牢固度不够的缺陷。因此，现有技术存在着因靶材粒子远距离溅射而致使玻璃镀膜效果不佳的技术问题。因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种带有挡板的靶位溅射室，以解决上述现有技术中存在着因靶材粒子远距离溅射而致使镀膜效果不佳的技术问题。本技术的技术方案如下一种带有挡板的靶位溅射室，其包括设置在靶位溅射室内的靶材，还包括设置在所述靶位溅射室两侧侧壁上的第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板的长度分别延伸至其所在侧的靶材边缘的切线处，所述靶材位于第一挡板和第二挡板之间连线的正上方。所述的靶位溅射室，其中，所述第一挡板和第二挡板水平设置。所述的靶位溅射室，其中，所述第一挡板和第二挡板朝向所述靶材向上倾斜设置。所述的靶位溅射室，其中，所述第一挡板和第二挡板的横截面为弧形。所述的靶位溅射室，其中，所述第一挡板和第二挡板上设置有回收靶材粒子的导槽。本技术通过在现有的靶位溅射室的侧壁上设置挡板，以挡住靶材向其正对区域以外的玻璃溅射的靶材粒子，可以有效的防止因靶材粒子远距离溅射而致使镀膜效果不佳的问题。本技术还通过变化挡板的安装方式和在挡板上设置导槽等方法促进靶材粒子的回收，以节约靶材的成本。附图说明图I是本技术中带有水平挡板的靶位溅射室结构示意图。图2是本技术中带有倾斜挡板的靶位溅射室的结构示意图。图3是本技术中挡板的结构示意图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下參照附图并举实施例对本技术进ー步详细说明。如 图I所示本技术中带有水平挡板的靶位溅射室结构示意图，玻璃7从靶位溅射室I的进料ロ 9进入靶位溅射室I，镀膜完成后从出料ロ 8输出。在出料ロ 8和进料ロ9之间的靶位溅射室I的第一侧壁2和第二侧壁3的中间位置处分别设置有第一挡板5和第二挡板6。第一挡板5和第二挡板6的长度延伸至靶材4的边缘切线，即靶材4正好位于第一挡板5和第二挡板6之间的连线的正上方。靶材向其正对区域以外的玻璃溅射的靶材粒子刚好可以被第一挡板5和第二挡板6挡住，从而只允许其对正对区域的玻璃溅射镀膜。如图2所示本技术中带有倾斜挡板的靶位溅射室的结构示意图，本技术中靶位溅射室的挡板还可以设置为倾斜状，第一挡板5和第二挡板6朝向靶材4斜向上固定设置在第一侧壁2和第二侧壁3上，以利于将靶材粒子集中到挡板和侧壁之间的锐角处集中回收。如图3所示本技术中挡板的结构示意图，挡板上设置有导槽10，其作用在于利于将挡板挡住的靶材粒子沿导槽滚落至挡板和侧壁之间的锐角处，进一歩利于靶材粒子的集中回收。从上述实施例可以看出，本技术通过在现有的靶位溅射室的侧壁上设置挡板，以挡住靶材向其正对区域以外的玻璃溅射的靶材粒子，可以有效的防止因靶材粒子远距离溅射而致使镀膜效果不佳的问题。另外，靶材一般都是以比较贵重的金属材料制成的，其成本都比较昂贵，为了节约成本。本技术还通过变化挡板的安装方式和在挡板上设置导槽等方法促进靶材粒子的回收，以达到节约成本的效果。应当理解的是，本技术的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，例如，挡板上的导槽可以设置为横截面为弧形或者V形，还可以把挡板直接设置为截面为弧形或者V形的挡板等。所有这些改进和变换都应属于本技术所附权利要求的保护范围。权利要求1.一种带有挡板的靶位溅射室，其包括设置在靶位溅射室内的靶材，其特征在于，还包括设置在所述靶位溅射室两侧侧壁上的第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板的长度分别延伸至其所在侧的靶材边缘的切线处，所述靶材位于第一挡板和第二挡板之间连线的正上万O2.根据权利要求I所述的靶位溅射室，其特征在于，所述第一挡板和第二挡板水平设置。3.根据权利要求I所述的靶位溅射室，其特征在于，所述第一挡板和第二挡板朝向所述靶材向上倾斜设置。4.根据权利要求I所述的靶位溅射室，其特征在于，所述第一挡板和第二挡板的横截面为弧形。5.根据权利要求I至4任一所述的靶位溅射室，其特征在于，所述第一挡板和第二挡板上设置有回收靶材粒子的导槽。专利摘要本技术公开了一种带有挡板的靶位溅射室，其包括设置在靶位溅射室内的靶材，还包括设置在所述靶位溅射室两侧侧壁上的第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板的长度分别延伸至其所在侧的靶材边缘的切线处，所述靶材位于第一挡板和第二挡板之间连线的正上方。采用本技术可有效的阻止靶材向其正对区域以外的玻璃溅射的靶材粒子，防止因靶材粒子远距离溅射而致使镀膜效果不佳的问题。同时还可利用挡板回收靶材粒子，以节约成本。文档编号C23C14/34GK202401123SQ20112052579公开日2012年8月29日 申请日期2011年12月15日 优先权日2011年12月15日专利技术者张建 申请人:佛山市中南罗森玻璃有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张建，
申请(专利权)人：佛山市中南罗森玻璃有限公司，
类型：实用新型
国别省市：