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脉冲激光沉积制备四氧化三钴薄膜电极材料的方法及其应用技术

技术编号:7680094 阅读:270 留言:0更新日期:2012-08-16 03:02
本发明专利技术涉及一种脉冲激光沉积制备Co3O4薄膜电极材料的方法及其应用。在约30Pa的氧气气氛中利用脉冲激光烧蚀纯度大于等于99.9%金属钴靶材,在Mo基片上溅射沉积制备Co3O4薄膜电极材料,基片温度为250℃。此法制得的Co3O4薄膜电化学性能测试结果表明此电极材料具有良好的倍率特性和循环性能,可用于超级电容器电极材料,具有较好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于电化学储能领域,具体涉及一种脉冲激光沉积制备Co3O4薄膜电极材料的方法及其应用。
技术介绍
超级电容器可有效提高能量储存和转化效率,在功率密度与循环寿命方面比二次 电池具有明显优势,广泛应用于国防科技、电子信息技术、航空航天以及电动汽车等领域。超级电容器常用电极材料主要有炭材料、过渡金属氧化物、导电聚合物及复合材料。其中,过渡金属氧化物电化学性能良好,具有双电层电容和法拉第电容。Zheng J P以RuCl3 . 3H20为前驱体制备出比电容高达720F/g的RuO2 XH2O电极材料(J. Power Sources 2002, 110:86),为性能优异的超级电容器电极材料。由于其前驱物价格昂贵,大大限制了 RuO2 . XH2O电极材料的应用。因此,寻找其他廉价过渡金属氧化物作为超级电容器电极材料成为超级电容器研究热点之一。薄膜结构在电化学能量储存方面具有独特的优势。目前已经发展了多种制备氧化物薄膜材料的方法,例如化学气相沉积、磁控溅射、离子束沉积、真空热蒸发及脉冲激光沉积(pulsed laser deposition, PLD)等技术。其中脉冲激光沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王雪峰王雅兰王欢文
申请(专利权)人:同济大学
类型:发明
国别省市:

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