下载脉冲激光沉积制备四氧化三钴薄膜电极材料的方法及其应用的技术资料

文档序号:7680094

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本发明涉及一种脉冲激光沉积制备Co3O4薄膜电极材料的方法及其应用。在约30Pa的氧气气氛中利用脉冲激光烧蚀纯度大于等于99.9%金属钴靶材,在Mo基片上溅射沉积制备Co3O4薄膜电极材料,基片温度为250℃。此法制得的Co3O4薄膜电化学...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。

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