发光装置的制作方法及有机层的形成方法制造方法及图纸

技术编号:7546007 阅读:158 留言:0更新日期:2012-07-13 18:00
一种发光装置的制作方法以及有机层的形成方法。该发光装置的制作方法提供包含第一电极层的基板。提供有机薄膜溶液,其包括有机材料、固体载质以及溶剂,其中固体载质具有升华性,且溶剂混合有机材料与固体载质。使用有机薄膜溶液以于第一电极层上形成有机薄膜。移除溶剂与移除固体载质以形成包括有机材料的有机功能层。于有机功能层上形成第二电极层。本发明专利技术可简化有机功能层或有机层的工艺,且使包括此有机功能层或有机层的装置具有良好的元件特性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种装置的制作方法及膜层的形成方法,尤其涉及一种。
技术介绍
电激发光装置(electroluminescent device)是一种可将电能转换成光能且具有高转换效率的半导体装置,其常见的用途为指示灯、显示面板以及光学读写头的发光装置等。其中,由于有机发光装置具备如无视角问题、工艺简易、低成本、高应答速度、使用温度范围广泛与全彩化等特性,因此符合多媒体时代显示器特性的要求,可望成为下一代的平面显示器的主流。有机发光装置包括阳极、有机发光层以及阴极。有机发光装置的发光原理是将空穴、电子分别由阳极、阴极注入至有机发光层。当电子与空穴在有机发光层中相遇时,会进行再结合而形成光子(Photon),进而产生放光的现象。为了提升有机发光装置的发光效率, 通常会在阳极与有机发光层之间配置空穴注入层与空穴传输层,以及在阴极与有机发光层之间配置电子注入层与电子传输层。也就是说,阳极与阴极之间可以配置有多个有机功能层,这些有机功能层可以是依序堆叠于阳极上的空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子注入层以及电子传输层。上述的有机功能层通常是采用掩模蒸镀法来形成,但此方法具有价格昂贵与不适合大规模制造的缺点,因此有人提出使用印刷等技术来取代掩模蒸镀法。印刷技术是先将有机材料溶解于挥发性溶剂中,再将含有有机材料的溶液涂布于基板上,接着使溶剂挥发以形成包括有机材料的有机功能层。然而,由于多个有机功能层通常是彼此堆叠且接触,因此用以形成后续有机功能层的溶剂有可能会因与已形成的有机功能层接触而彼此互溶,进而影响有机发光装置的元件特性。由于有机功能层的材料种类繁多,因此大幅增加了制作有机功能层的困难度与复杂度。
技术实现思路
本专利技术提供一种发光装置的制作方法,能简化有机功能层的工艺。本专利技术另提供一种有机层的形成方法,其具有简单的工艺。本专利技术提出一种发光装置的制作方法,其包括以下步骤。提供包含第一电极层的基板。提供第一有机薄膜溶液,其包括第一有机材料、第一固体载质以及第一溶剂,其中第一固体载质具有升华性,且第一溶剂使第一有机材料与第一固体载质混合。使用第一有机薄膜溶液以于第一电极层上形成第一有机薄膜。移除第一溶剂与移除第一固体载质以形成包括第一有机材料的第一有机功能层。于第一有机功能层上形成第二电极层。本专利技术另提出一种有机层的形成方法,其包括以下步骤。提供有机薄膜溶液,其包括有机材料、固体载质以及溶剂,其中固体载质具有升华性,且溶剂使有机材料与固体载质混合。涂布有机薄膜溶液以于基材上形成有机薄膜。去除有机薄膜中的溶剂以形成固态膜。使固态膜中的固体载质升华,以形成包括有机材料的有机层。基于上述,在本专利技术中,使用包括有机材料、具有升华性的固体载质以及溶剂的有机薄膜溶液来制作有机薄膜,而后借由移除溶剂及移除固体载质,以形成包括有机材料的有机功能层或有机层。如此一来,可简化有机功能层或有机层的工艺,且使包括此有机功能层或有机层的装置(诸如发光装置)具有良好的元件特性。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合所附附图作详细说明如下。附图说明图IA至图IC是根据本专利技术第一实施例的有机层的形成方法的流程剖面示意图。图2A至图2E是根据本专利技术第二实施例的发光装置的制作方法的流程剖面示意图。图3A至图3G是根据本专利技术第三实施例的发光装置的制作方法的流程剖面示意图。图4A至图4G是根据本专利技术第四实施例的发光装置的制作方法的流程剖面示意图。其中,附图标记说明如下10 :基材20 :有机薄膜30 :固态膜40 :有机层100、100a、IOOb :发光装置102 :基板110、150 :电极层120、130 :有机薄膜122,132 :固态膜124、134 :有机功能层140 :缓冲层具体实施方式第一实施例图IA至图IC是根据本专利技术第一实施例的有机层的形成方法的流程剖面示意图。首先,提供有机薄膜溶液,其包括有机材料、固体载质以及溶剂,其中固体载质具有升华性, 且溶剂使有机材料与固体载质混合。在本实施例中,根据所欲形成的有机层来选择有机材料,举例来说,有机层可以是作为发光装置中的有机功能层、太阳能电池中的光电转换层或其他有机层,因此根据这些膜层应具有的特性来选择适当的有机材料。在本实施例中,固体载质例如是萘(naphthalene)、乙酰丙酮招(Al (acac) 3)或其他具有升华性的固体载质。在本实施例中,固体载质的升华温度例如是小于有机材料的耐受温度,以避免后续移除固体载质的温度破坏有机材料的特性。第一溶剂例如是具有挥发性的有机溶剂,诸如四氢呋喃、二氯甲烷、甲苯、丙酮或其他适合的溶剂。其中,第一溶剂的挥发温度(诸如沸点)小于第一固体载质的升华温度。第一溶剂在常压下的挥发温度例如是介于40°C至80°C。请参照图1A,接着,涂布有机薄膜溶液于基材10上形成有机薄膜20。基材10可以是有机基材或无机基材。在本实施例中,涂布有机薄膜溶液的方法包括旋涂法、喷墨法或其他合适的方法。请参照图1B,然后,去除有机薄膜20中的溶剂,以形成固态膜30。固态膜30包括有机材料与固体载质。在本实施例中,有机材料与固体载质的含量比例例如是1 5至 1 200,较佳为约1 100。在本实施例中,去除溶剂的方法例如是使溶剂挥发,诸如进行加热工艺、改变压力或根据溶剂的特性利用其他条件使溶剂挥发。其中,加热工艺的温度是依据溶剂的挥发温度而定,例如常压下的加热工艺的温度是40°C至80°C。当然,也可以根据溶剂的特性利用改变压力或其他条件的方式去除第一溶剂。请参照图1C,而后,使固态膜30中的固体载质升华,以形成包括有机材料的有机层40。在本实施例中,使固体载质升华的方法例如是对固态膜30进行加热工艺。加热工艺的温度是依据固体载质的升华温度而定,例如是70°C至200°C。此外,在其他实施例中,也可以根据固体载质的特性利用改变压力或其他条件的方式使固体载质升华。在本实施例中,借由于基材上形成包括有机材料、固体载质以及溶剂的有机薄膜, 以及依序移除有机薄膜中的溶剂与固体载质,以形成包括有机材料的有机层。由于有机材料、固体载质以及溶剂彼此互溶且溶剂与固体载质具有易于移除的特性,因此有机层的形成方法具有简单的步骤与较低的制作成本。此外,经由适当地选择彼此互溶的有机材料、固体载质以及溶剂,本实施例的有机层的形成方法可以广泛地应用于半导体领域、光电领域等领域中,使得包括以此方法形成的有机层的装置具有良好的元件特性。接下来,将说明应用上述方法的发光装置的制作方法,以进一步说明本专利技术。第二实施例图2A至图2E是根据本专利技术第二实施例的发光装置的制作方法的流程剖面示意图。请参照图2A,首先,提供基板102,此基板102包含第一电极层110。在本实施例中,基板 102可为硬式基板或软式基板,硬式基板例如是玻璃基板、刚性塑胶基板、金属基板、晶圆或陶瓷基板等,软式基板例如是有机基板,诸如聚亚酰胺基板、聚碳酸酯基板、聚苯二甲酸酯基板、聚奈二甲酸醇酯基板、聚丙烯基板、聚乙烯基板、聚苯乙烯基板、其它合适的基板、上述聚合物衍生物的基板、或者是薄的金属或合金基板。在本实施例中,第一电极层110例如是形成于基板102上。第一电极层110例如是阳极,其材质可为透明导电材料或是本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:陈英杰翁照钦
申请(专利权)人:友达光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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