准单晶硅片的制绒方法技术

本发明专利技术涉及一种准单晶硅片的制绒方法，其特点在于包括以下步骤：首先，采用湿法刻蚀方法去除以晶粒为主的准单晶硅片上的机械损伤层。之后，根据晶粒所占比例，采用等离子体刻蚀与反应离子刻蚀进行准单晶制绒。由此，等离子刻蚀和反应离子刻蚀无需去离子水，化学试剂用量少。同时，反应产物的排放污染小，安全，环境友好。而且，制绒后准单晶硅片反射率低于15％，表面陷光效果好，电池片可充分发挥准单晶硅片优势。制绒后表面织构化不依赖于晶向和衬底条件。可靠性高，易控制，硅片消耗量少，利于更薄硅片应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制绒方法，尤其涉及一种。
技术介绍
制绒是制备具有减反射的硅表面的工艺过程。在太阳电池制备过程中通过制绒过程，利用表面陷光作用促进太阳光的吸收，提高太阳电池光电转换效率。国内外产业化的硅片主要有单晶硅片、多晶硅片，对应制造方法分别为直拉单晶切片工艺、铸锭多晶切片工艺。直拉单晶电池片转换效率高(> 18%)，对应硅片制造成本亦较高；相反浇铸多晶电池片以其低廉的硅片价格、稳定的转换效率(> 16. 5% )，成为最重要的太阳电池之一。结合传统直拉单晶和浇铸多晶技术的优点，通过成本低廉的浇铸工艺制造出单晶硅片，对应电池片兼具直拉单晶电池的高转换效率优势及浇铸多晶电池的低成本优势，该项技术为第3代铸锭技术，被命名为浇铸单晶技术，对应硅片为准单晶硅片。 采用准单晶硅片生产出的量产电池片具有与直拉单晶硅电池片不相上下的转换效率。另夕卜，直拉单晶电池片衰减率在2%以上，而准单晶铸锭在0.5%以下，性能更加稳定。电池组件的利用率上，直拉单晶硅的硅棒呈圆柱状，制作的太阳能电池片需将四周切掉，而准单晶铸锭为方形铸锭，制作电池片的切片也是直角方形，组成的电池组件输出功率高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：魏青竹，钱峰，陆俊宇，任军林，汪艳玲，
申请(专利权)人：江苏腾晖电力科技有限公司，
类型：发明
国别省市：