一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机制造技术

一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机，包括机架，所述机架的操作平台上安装有带空腔的底座，所述底座上连接有可旋转的带空腔的上盖，所述底座内从下往上依次安装有抽气平台、装片PSS盘、硅片定位盘，所述硅片定位盘由固定盘定位固定安装；所述底座上开有腔体第一出口、腔体第二出口、腔体第三出口，所述腔体第一出口与抽气平台连通，所述腔体第二出口和腔体第三出口均设在抽气平台的外侧，所述腔体第一出口、腔体第二出口与对腔体抽真空的真空泵连接，所述真空泵安装在机架底部平台上，所述腔体第三出口与输送氮气进入腔体的装置连接。本发明专利技术的有益效果：自动化程度高，操作方便，节省劳动力，降低了装片时的破损率，提高了刻蚀工艺的工作进程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机。
技术介绍
目前太阳能电池制造过程中，包含有很多工序，其中包含硅片刻蚀。刻蚀是半导体制造工艺、微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的工艺步骤。在上述工序中硅片需要装到PSS盘中，再放入机械手传输到刻蚀区进行工艺加工。在此工艺中，硅片装盘是处于人工装片状态，硅片又薄又脆，所以该方式容易出现碎片率高，且PSS盘内有18 个槽用于放片，要用人工方式又快又准地放片是不可能达到的。
技术实现思路
本专利技术要解决现往PSS盘装硅片存在碎片率高、工作效率低、工作质量差的问题， 提供了一种碎片率低、工作效率高、工作质量高的辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机。本专利技术采用的技术方案是一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机，包括机架，其特征在于所述机架的操作平台上安装有带空腔的底座，所述底座上连接有可旋转的带空腔的上盖，所述底座内从下往上依次安装有抽气平台、装片PSS盘、硅片定位盘，所述硅片定位盘由固定盘定位固定安装；所述底座上开有腔体第一出口、腔体第二出口、腔体第三出口，所述腔体第一出口与抽气平台连通，所述腔体第二出口和腔体第三出口均设在抽气平台的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：夏洋，
申请(专利权)人：嘉兴科民电子设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：