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一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机，包括机架，所述机架的操作平台上安装有带空腔的底座，所述底座上连接有可旋转的带空腔的上盖，所述底座内从下往上依次安装有抽气平台、装片PSS盘、硅片定位盘，所述硅片定位盘由固定盘定位固定安装；所述底座上开有腔体...
该专利属于嘉兴科民电子设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴科民电子设备技术有限公司授权不得商用。

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