透明电极膜的改性方法技术

技术编号:7148312 阅读:153 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及透明电极膜的改性方法,该透明电极膜的改性方法是具备基板、和在该基板上形成的透明电极膜的带透明电极膜的基板上的透明电极膜的改性方法,其中使用闪光灯对上述透明电极膜照射光脉冲持续时间为0.1-10毫秒的闪光,加热上述透明电极膜,由此实施退火处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使在发光元件等中使用的带透明电极膜的基板上的透明电极膜改性、 降低其电阻率的方法,以及使用该方法制造带透明电极膜的基板的方法。
技术介绍
有机电致发光元件(有机EL元件)等发光元件中,通常使用透明电极膜作为用于 获取来自发光层的光的光输出口一侧的电极。另外,为了提高发光层的发光亮,优选使透明 电极膜的电阻率尽量降低,因此人们在探讨形成电阻率更低的透明电极膜的技术的同时, 还研究在形成透明电极膜后使其电阻率降低的技术。作为上述使透明电极膜的电阻率降低 的方法,例如日本特开2000-282225号公报(专利文献1)中公开了以下的方法在形成含 有透明电极材料铟锡氧化物(ITO)的ITO膜之后,使用加热烘箱、以180°C以上的温度实施 退火处理,由此使ITO膜电阻率降低。但是,如专利文献1记载的以往的方法中,退火处理所需时间长,是生产效率方面 未必充分的方法。另外,基板的材质为树脂等有机物时,由于退火处理时加热烘箱的热,会 有基板变形或树脂变质劣化的问题。
技术实现思路
本专利技术针对上述以往技术所具有的问题而设,其目的在于提供具备基板、和在上 述基板上形成的透明电极膜的带透明电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.透明电极膜的改性方法,该透明电极膜的改性方法是具备基板、和在该基板上形成的透明电极膜的带透明电极膜的基板上的透明电极膜的改性方法,其中使用闪光灯对上述透明电极膜照射光脉冲持续时间为0.1-10 毫秒的闪光,加热上述透明电极膜,由此实施退火处理。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:黑田俊也
申请(专利权)人:住友化学株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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