一种调节传送构件中的传送臂的速度的方法。所述方法包括：使传送臂从起点向移动速度达到预设基准速度的第一点加速；将从第一点至第二点的段划分为多个移动段，使传送臂根据各个移动段而以减速运动、加速运动和匀速运动中的任一种运动移动；以及，使传送臂从第二点向目标点减速。传送臂在当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动段中的运动。由此，施加与先前移动段中的脉冲不同的脉冲到加载在传送臂上的基板。因此，脉冲响应叠加消除了基板的残留振动，从而改进了传送构件的传送效率。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
这里公开的本专利技术涉及制造半导体基板的设备，并且更特别地，涉及调节处理半 导体基板的传送构件的速度的方法、使用所述调节方法的基板传送方法以及基板处理设备。
技术介绍
在基板制造过程中，多次重复对介电材料和金属材料的沉积与蚀刻、光致抗蚀剂 的涂覆与显影、灰化处理(asher process)等，以实现构图的精致布局。但是，尽管进行了 包括蚀刻或者灰化处理的处理，仍会在基板中残留异物。移除这些异物的处理包括使用去 离子水或者化学制剂的清洁处理。进行清洁处理的基板清洁设备划分为批次基板清洁设备和单基板清洁设备。批次 基板清洁设备包括具有能够一次处理25块基板或50块基板的尺寸的化学槽、洗涤槽和烘 干槽。批次基板清洁设备通过将基板浸渍在各个槽中预定的时间而移除异物。这样的批次 基板清洁设备同时清洁基板的上部和下部并且同时处理大量的基板。但是，随着基板直径 的增大，槽的尺寸也增大，从而增大了设备的尺寸和化学制剂的量。另外，从相邻基板脱离 的异物附着到化学槽中正被清洁的基板。最近，随着基板直径的增大，广泛地使用单基板清洁设备。在单基板清洁设备中， 基板被固定到腔室(chamber)中的基板夹具，所述腔室具有用于处理单个基板的小的尺 寸；然后，基板被马达转动；接着，通过布置在基板上方的喷嘴向所述基板提供化学制剂或 者去离子水。基板的自旋使化学制剂或者去离子水在基板的上部展开，以从基板去除异物。 单基板清洁设备的尺寸比批次基板清洁设备的尺寸更小，并且实现了均一的清洁性能。总体上，单基板清洁设备从其一个侧部开始包括加载/卸载单元、索引机械手、 缓冲单元、处理腔室和主传送机械手。索引机械手在缓冲单元和加载/卸载单元之间传送 基板，主传送机械手在缓冲单元和处理腔室之间传送基板。在缓冲单元处，将要清洁的基板 等待插入到处理腔室中，或者已经清洁的基板等待传送到加载/卸载单元。比如索引机械手和主传送机械手的传送机械手包括多个臂，基板被加载到各个 臂。所述各个臂水平移动，以便从收纳构件或缓冲单元中取出基板或将基板加载到收纳 构件或缓冲单元，所述收纳构件比如前端统一开口的容器(front open unified pods, FOUPs)。由于当传送机械手上下移动以将基板放置在臂的上表面时或者当传送机械手在 基板放置在臂上的状态下上下移动时产生的噪声和振动，需要传送机械手以低的速度移 动。由此，增加了传送机械手的基板传送时间，降低了传送效率。
技术实现思路
技术问题本专利技术提供了调节传送构件的移动速度的方法，改进了传送基板的效率。本专利技术还提供了使用所述调节传送构件的移动速度的方法来传送基板的方法。本专利技术还提供了使用所述传送基板的方法来处理基板的基板处理设备。技术方案本专利技术的实施方式提供了调节传送构件的移动速度的方法，所述传送构件具有多 个加载有基板的传送臂，各个传送臂朝向地面(facing a ground)，所述方法包括使所述 传送臂从所述传送臂开始上下移动的起点向所述移动速度达到预设基准速度的第一点加 速；使以所述基准速度移动的传送臂从第二点向目标点逐渐减速；以及，将从所述第一点 至所述第二点的段划分为N个移动段(这里N是至少为2的自然数)，以使所述传送臂根据 各个移动段而以减速运动、加速运动和勻速运动中的任一种运动移动，其中，所述传送臂在 当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动段中的运动。在本专利技术的另一个实施方式中，提供了使用传送构件的基板传送方法，所述传送 构件具有多个加载有基板的传送臂，所述各个传送臂朝向地面，所述方法包括使所述传送 构件向收纳构件移动以加载或拾取所述收纳构件中的基板；使所述传送臂上下移动以位于 所述收纳构件中的目标点；以及，将设置在所述传送臂的上表面上的所述基板加载到所述 目标点上，或者拾取加载到所述目标点上的基板。传送臂的移动包括使所述传送臂从所述传送臂开始上下移动的起点向移动速度 达到预设基准速度的第一点加速；将从所述第一点至所述第二点的段划分为N个移动段 (这里N是至少为2的自然数)，以使所述传送臂根据各个移动段而以减速运动、加速运动 和勻速运动中的任一种运动移动；以及，使以所述基准速度移动的传送臂从所述第二点向 所述目标点减速，且所述传送臂在当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动 段中的运动。在本专利技术的又一个实施方式中，基板处理设备包括收纳构件、传送构件和控制单元。所述收纳构件沿上下方向配置多个基板以收纳所述基板。所述传送构件包括多 个传送臂，所述多个传送臂在上下方向上朝向彼此；臂驱动部件，所述臂驱动部件水平地移 动所述各个传送臂；上下移动部件，所述上下移动部件配置在所述臂驱动部件下方以改变 所述传送臂的上下位置，所述基板加载到各个传送臂上，所述传送构件从所述收纳构件取 出至少一个基板以及向所述收纳构件加载至少一个基板。所述控制单元调节所述上下移动 部件的移动速度直到所述传送臂上下移动而到达所述收纳构件中的目标点。所述控制单元将所述上下移动部件加速至预设基准速度，直至所述传送臂从起点 到达第一点；并且所述控制单元使以所述基准速度移动的所述上下移动部件减速，直至所 述传送臂从第二点到达所述目标点；并且当所述传送臂在所述第一点和所述第二点之间的 段内移动时，所述段被划分为N个移动段(这里，N是至少为2的自然数)，所述控制单元根 据所述各个移动段使所述上下移动部件以减速运动、加速运动和勻速运动中的任一种运动 沿上下方向移动。所述控制单元控制所述上下移动部件，以使所述上下移动部件在当前移动段中的 运动不同于在紧接所述当前移动段之前的移动段中的运动。有益效果根据本专利技术，在所述传送构件达到基准速度时，根据各个移动段所述传送构件的 运动不同于先前段中的运动。由此，施加与先前移动段中的脉冲不同的脉冲到加载的基板。 因此，脉冲响应叠加消除了基板的残余振动，从而改进了传送构件的传送效率。附图说明所包括的附图提供了对于本专利技术的进一步的理解，并且被整合在说明书中并构成 说明书的一部分。附图示出了本专利技术的示例性实施方式，并且与说明书一起用以说明本发 明的原则。在附图中图1是说明根据本专利技术的实施方式的基板处理系统的示意图；图2是说明图1中的索引机械手的立体图；图3是图1中说明的缓冲单元的立体图；图4是图1中说明的主传送机械手的立体图；图5是说明根据本专利技术的实施方式的通过脉冲响应叠加而被消除了残留振动的 曲线；图6是说明图1中示出的第一控制单元根据索引机械手的上下位置使用根据本发 明的实施方式的脉冲响应方法控制上下移动速度的过程的示意图；图7是说明根据图6中所示的各个段的、索引机械手的上下移动速度的曲线；图8至图15是说明由图1中所示的第一控制单元控制的索引机械手的上下移动 速度的变化的图。具体实施例方式下面将参考附图更为详细地说明本专利技术的优选实施方式。但是，本专利技术可以以不 同的形式实现，并且不应认为局限于这里提出的实施方式。而是，提供这些实施方式以使本 公开透彻和完整，并且全面地向本领域技术人员传达本专利技术的范围。下文中，将结合附图说明本专利技术的示例性实施方式。图1是说明根据本专利技术的实施方式的基板处理系统1000的示意图。图2是说明 图1中所示的索引机械手200的立体图。参考图1和图2，所述基板处理系本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种调节传送构件的移动速度的方法，所述传送构件具有多个加载有基板的传送臂，各个传送臂朝向地面，所述方法包括：使所述传送臂从所述传送臂开始上下移动的起点向所述移动速度达到预设基准速度的第一点加速；使以所述基准速度移动的传送臂从第二点向目标点逐渐减速；和将从所述第一点至所述第二点的段划分为Ｎ个移动段（这里Ｎ是至少为２的自然数），以使所述传送臂根据各个移动段而以减速运动、加速运动和匀速运动中的任一种运动移动，其中，所述传送臂在当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动段中的运动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪光珍，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：KR
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