【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在流路内流动的流体的控制方法及控制装置，尤其是涉及用于将多个流体混合而形成具有目标特性的流体的流体控制方法及流体控制装置。
技术介绍
在使多个液体混合的装置中，存在有一种通过每隔一定时间的泵的喷出量或阀的开度来设定流量，使各个每隔一定时间的流量的液体混合，而作成目标的混合液的技术 (例如参照专利文献1、专利文献2)。另外，作为使用将多个液体混合后的液体的技术，例如有硅片的蚀刻技术。在硅片的蚀刻液中使用将多种酸混合后的混合酸(例如参照专利文献3 幻。蚀刻液由于其组成的不同而蚀刻速度发生变化，因此维持其组成非常重要。例如，在含有氟酸、硝酸、六氟硅酸在内的混合酸的情况下，在对硅片进行蚀刻的过程中，氟酸和硝酸使用中发生反应而减少。相对于此，六氟硅酸和水由于反应生成而增加。在对蚀刻处理中使用后的蚀刻液进行再生时，关于减少的氟酸及硝酸，若将氟酸原液及硝酸原液追加到蚀刻液中，则能够恢复所希望的氟酸浓度及硝酸浓度。并且，由于氟酸原液及硝酸原液的追加而蚀刻液中的六氟硅酸和水或多或少地减少。然而，氟酸原液及硝酸原液的追加所产生的蚀刻液中的六氟硅酸和水的减少量存在限度，...
【技术保护点】
１．一种流体控制方法，其中，对在流路内流动的混合前的多个流体分别进行流量调整并将它们混合，且对在流路内流动的混合后的流体的特性进行光学测定，基于该测定结果调整所述混合前的流体的流量，以使所述混合后的流体成为目标的特性。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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