本申请提供一种无需添加添加剂，且能够在线直接测定高级氧化活性物种的浓度的高级氧化活性物种的浓度测定方法以及浓度测定装置。一种高级氧化活性物种的浓度测定方法，包括：测定样品的包括波长195~205nm的波长区域的吸光特性的工序；以及基于包...

一种瓶罐的口部检查装置，在瓶罐的口部检查中，切实地只检测出可能发生漏液等的不合格品。所述瓶罐的口部检查装置具备：旋转机构，保持瓶罐并使其围绕罐轴旋转；第一照明机构，对摄像区域内的卷边部照射第一照明光；第二照明机构，隔着摄像区域从第一照明...

本发明提供一种生产率优异的瓶罐的口部检查方法及检查装置，能够切实地只检测出具有可能发生成漏液等的划痕等凹凸形状的瓶罐，并且能够缩短检查的处理时间。本发明的瓶罐的口部检查方法具备：一次检查工序，对沿主运送通道（101）连续地依次运送的瓶罐...

本发明提供一种能够正确地且在短时间内检查瓶罐的螺纹部的瓶罐的螺纹部检查装置。该螺纹部检查装置，使具有口部（3）的瓶罐（4）围绕罐轴（X）旋转的同时，拍摄被设定为包括口部（3）的一部分的摄像区域，以检查口部（3）中的螺纹部（2）的形状，其...

提供一种由于能够直接检测处理液的浓度，因而能够几乎不受处理液温度影响地进行独立的浓度控制，从而能够精度良好地对基板进行药液处理的基板处理装置。在将基板浸渍在将药液和稀释液混合而成的处理液中进行处理的基板处理装置中，包括：处理槽（1），贮...

本发明提供一种能够在在线式测量中进行稳定的测量的干涉式膜厚计。该干涉式膜厚计设置有焦点位置扫描部(7)，该焦点位置扫描部(7)使作为从投受光探头(5)照射的光的焦点位置、且入射至投受光探头(5)的光的焦点位置的共同焦点位置在规定范围内进...

本发明提供一种基板处理装置，由于可直接检测处理液的浓度，所以能够进行独立的浓度控制，且由于不易产生因透镜温度变化引起的测定误差，因此能够高精度地进行基板的药液处理。一种在由磷酸和稀释液混合而成的处理液中浸渍基板而进行处理的基板处理装置，...

本发明提供可将较高浓度的含羟基自由基水提供给使用点，且在简便性方面优异的含羟基自由基水供给方法。所述含羟基自由基水供给方法包括：将臭氧、过氧化氢以及选自由水溶性有机物、无机酸、所述无机酸的盐和肼构成的组中的至少一种以上的添加物质溶解于纯...

本发明提供一种从送液管外部稳定地计测输送液体的送液管内的液体浓度的液体浓度计。该液体浓度计具备：送液管（１４、１６），其输送液体；光透射部（１５），其设置在送液管（１４、１６）的中途；投射部（９、２２），其向光透射部（１５）照射测定光；...

本发明提供一种准确且迅速地将多个流体混合成目标的特性的流体控制方法及流体控制装置，该流体控制装置具备：用于使混合前的多个流体流动的流路（５、７、１１、１３）；用于使混合后的流体流动的流路（１５、１７）；用于使流体在流路中移动的泵（１９）...

本发明提供一种使用至少含有选自氢自由基和碳自由基中的任一种的水清洗待处理物体的方法，和一种能够在不使用化学药品的情况下由清洗设备（１，２１，４１）发挥充分清洗效果的新方法，所述清洗设备（１，２１，４１）具有用于清洗待处理物体的处理浴器（...

通过聚光镜（２６），将特定波长的光引入构成发光光学纤维束（１４ａ）相应的光学纤维件。光学纤维光导路（１０）的第二端被分成三支光学纤维件组，包括发光光学纤维件组（１４ａ）和第一和第二光接收光学纤维件组（１６ａ，１８ａ），每个光学纤维件组（...

一种在采用生物参数测量设备测量生物参数过程中用于调节作用在生物体区域上的压力的方法和装置，包括在生物参数测量过程中通过一个柔软加压介质以一个预定的压力对生物体区域加压，从而将作用在生物体区域上的压力调节到等于预定压力值。所述生物参数测量...

一种在采用生物参数测量设备测量生物参数过程中用于使生物体的被测区域相对于探测头定位的方法和装置，所述生物参数测量设备通过探测头用光照射生物体区域，保持探测头与生物体区域接触，探测从生物体区域传输和／或反射来的光，测量生物体内基于传输和／...