【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
1.一种多入口真空泵,包括:第一泵级和第二泵级;第一入口和第二入口,每一个都被设置用于从腔室接收气体分子;以及被设置用于从泵中排出气体分子的出口;其中第一泵级和第二泵级提供了从入口到出口的流动路径,流动路径被设置为使得进入第一入口的分子经过第一泵级和第二泵级到达出口,并且使得进入第二入口的分子经过级间容积和第二泵级到达出口;其特征在于第一泵级和第二泵级每一个都包括涡轮分子副级和牵引分子副级。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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