多入口真空泵制造技术

技术编号:7128945 阅读:208 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
第一和第二泵级提供了从入口到出口(30)的流动路径,流动路径被设置为使得进入第一入口(26)的分子经过第一泵级(120)和第二泵级(122)到达出口,并且使得进入第二入口(28)的分子经过级间容积(121)和第二泵级(122)到达出口;其中第一泵级(120)和第二泵级(122)每一个都包括涡轮分子副级(120a,122a)和牵引分子副级(120b,122b)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
1.一种多入口真空泵,包括:第一泵级和第二泵级;第一入口和第二入口,每一个都被设置用于从腔室接收气体分子;以及被设置用于从泵中排出气体分子的出口;其中第一泵级和第二泵级提供了从入口到出口的流动路径,流动路径被设置为使得进入第一入口的分子经过第一泵级和第二泵级到达出口,并且使得进入第二入口的分子经过级间容积和第二泵级到达出口;其特征在于第一泵级和第二泵级每一个都包括涡轮分子副级和牵引分子副级。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:ID斯通斯
申请(专利权)人:爱德华兹有限公司
类型:发明
国别省市:GB

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1