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一种分子泵真空抽气装置制造方法及图纸

技术编号:7005929 阅读:210 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种分子泵真空抽气装置,包括真空腔体2、真空腔体盖板2、分子泵3、抽气管A4和抽气管B6组成,所述的分子泵3可拆卸地连接在真空腔体盖板2上,所述的分子泵3与抽气管A4连接,抽气管A4和B6一端都具有有与水平面平行的法兰,当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时,所述的抽气管A4和B6在所述的法兰处形成气密性连接;本实用新型专利技术可以节省用来进行抽气管A4与抽气管B6的拆装工作的大量时间,从而大大提高了生产效率,而且也节约了大量的能源,不仅使得生产成本大大降低,提高设备的利用率,而且也有利于环保。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种分子泵真空抽气装置,包括真空腔体、真空腔体盖板、分子泵、抽气管A和抽气管B组成,所述的分子泵可拆卸地连接在真空腔体盖板上,所述的分子泵与抽气管A连接,其特征在于:抽气管B和A一端都具有有与水平面平行的法兰,当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时,所述的抽气管A和B在所述的法兰处形成气密性连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:苏贵方
申请(专利权)人:苏贵方
类型:实用新型
国别省市:44

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