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多入口真空泵制造技术
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文档序号:7128945
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第一和第二泵级提供了从入口到出口(30)的流动路径,流动路径被设置为使得进入第一入口(26)的分子经过第一泵级(120)和第二泵级(122)到达出口,并且使得进入第二入口(28)的分子经过级间容积(121)和第二泵级(122)到达出口;其中...
该专利属于爱德华兹有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱德华兹有限公司授权不得商用。
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