本发明提供一种真空系统（12），包括串联连接的多个真空腔室（14，16，18，20）和用于有差别地泵送所述腔室的真空泵送装置（10）。所述真空泵送装置包括：主泵（22），所述主泵具有被连接用于泵送第一真空腔室（14）的入口（23）和用于...

涡旋压缩机包括两个涡盘(40,46)，涡盘具有相应的涡盘板(42,48)和相应的涡盘壁(44,50)。涡盘壁相互啮合使得通过涡盘的相应轨道运动气体体积(52,54)被截留于涡盘之间且被从入口(31)泵送到出口(33)。在所述涡盘板之间的...