转印材料用固化性组合物和含有(甲基)丙烯酰基的脲化合物制造技术

技术编号:7128064 阅读:239 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术的目的是提供纳米压印法的转印性非常好、而且氩气和氧气的干蚀刻速度的选择性高,并且可以以高吞吐量形成微细图案的、适合纳米压印法的转印材料用固化性组合物。本发明专利技术的转印材料用固化性组合物,含有具有选自下述式(1)~(3)中的至少一种骨架和(甲基)丙烯酰基的化合物(A)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及转印材料用固化性组合物、使用该组合物的图案形成方法、使用该方法的磁记录介质的制造方法、用该制造方法获得的磁记录介质、具备该介质的磁记录再生装置、和含有(甲基)丙烯酰基的脲化合物。
技术介绍
作为半导体制造工艺、图案化介质等磁记录介质制造工艺等中的微细图案形成方法,纳米压印技术备受关注,人们需要用于该纳米压印技术的优异的转印材料。作为纳米压印用转印材料,一般使用聚甲基丙烯酸甲酯等热塑性树脂,在该情况下,一般工序是将涂布上的材料加热至玻璃化转变温度以上,按压模具,冷却后取下模具的循环方法。然而,这样的方法存在非常费时、吞吐量差这样的问题。与此相对,公开了使用硅氧烷化合物之一的氢化倍半硅氧烷,在基板上形成其涂膜,然后在室温下按压模具,从而获得微细图案的技术(专利文献1)。此外,公开了在基板上由包含儿茶酚衍生物和间苯二酚衍生物的组合物形成涂膜,然后在室温下按压模具,从而获得微细图案的技术(专利文献2)。这些方法被称为室温压印法,虽然没有加热、冷却的循环操作,但是按压模具所需的时间较长、吞吐量也并不认为是充分的。此外,由于在高压下按压,因此在印模的寿命方面存在缺点、作为批量生产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种转印材料用固化性组合物,其特征在于,含有化合物(A),该化合物(A)具有选自下述式(1)~(3)中的至少一种骨架和(甲基)丙烯酰基,

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:新井良和
申请(专利权)人:昭和电工株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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