【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及转印材料用固化性组合物、使用该组合物的图案形成方法、使用该方法的磁记录介质的制造方法、用该制造方法获得的磁记录介质、具备该介质的磁记录再生装置、和含有(甲基)丙烯酰基的脲化合物。
技术介绍
作为半导体制造工艺、图案化介质等磁记录介质制造工艺等中的微细图案形成方法,纳米压印技术备受关注,人们需要用于该纳米压印技术的优异的转印材料。作为纳米压印用转印材料,一般使用聚甲基丙烯酸甲酯等热塑性树脂,在该情况下,一般工序是将涂布上的材料加热至玻璃化转变温度以上,按压模具,冷却后取下模具的循环方法。然而,这样的方法存在非常费时、吞吐量差这样的问题。与此相对,公开了使用硅氧烷化合物之一的氢化倍半硅氧烷,在基板上形成其涂膜,然后在室温下按压模具,从而获得微细图案的技术(专利文献1)。此外,公开了在基板上由包含儿茶酚衍生物和间苯二酚衍生物的组合物形成涂膜,然后在室温下按压模具,从而获得微细图案的技术(专利文献2)。这些方法被称为室温压印法,虽然没有加热、冷却的循环操作,但是按压模具所需的时间较长、吞吐量也并不认为是充分的。此外,由于在高压下按压,因此在印模的寿命方面存 ...
【技术保护点】
1.一种转印材料用固化性组合物,其特征在于,含有化合物(A),该化合物(A)具有选自下述式(1)~(3)中的至少一种骨架和(甲基)丙烯酰基,
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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