硅片清洗机的漂洗槽制造技术

技术编号:7113555 阅读:370 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开一种硅片清洗机的漂洗槽,包括前后两部分,前半部分依次布置五个漂洗槽,后半部分依次布置两个漂洗槽,所述前半部分最外侧的漂洗槽I与进水口相连,且漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用由高到低的阶梯式结构,所述漂洗槽V与漂洗槽VI通过一个溢流管道相连通,所述漂洗槽VII上开设有排污口,所述溢流管道上安装有蓄水槽,所述蓄水槽中安装有水位控制器,水位控制器连接有管道泵。该漂洗槽采用阶梯溢流式结构,只需一个进水口与出水口,具有结构简单、节约用水量的优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种硅片清洗机的漂洗槽,包括前后两部分,前半部分依次布置五个漂洗槽,后半部分依次布置两个漂洗槽,其特征在于:所述前半部分最外侧的漂洗槽I与进水口相连,且漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用由高到低的阶梯式结构,所述漂洗槽V与漂洗槽VI通过一个溢流管道相连通,所述漂洗槽VII上开设有排污口,所述溢流管道上安装有蓄水槽,所述蓄水槽中安装有水位控制器,水位控制器连接有管道泵。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘伟王欣杨乐
申请(专利权)人:高佳太阳能股份有限公司
类型:发明
国别省市:32

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