下载硅片清洗机的漂洗槽的技术资料

文档序号:7113555

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本发明公开一种硅片清洗机的漂洗槽,包括前后两部分,前半部分依次布置五个漂洗槽,后半部分依次布置两个漂洗槽,所述前半部分最外侧的漂洗槽I与进水口相连,且漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用...
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